1) Cylindrické terče majú vyššiu mieru využitia ako rovinné terče.V procese nanášania, či už ide o rotačný magnetický typ alebo valcový naprašovací terč s rotačnou trubicou, všetky časti povrchu terča plynule prechádzajú cez oblasť naprašovania vytvorenú pred permanentným magnetom, aby prijali katódové naprašovanie. terč môže byť rovnomerne rozprašovaný a leptaný a miera využitia terča je vysoká.Miera využitia cieľových materiálov je asi 80% ~ 90%.
2) Cylindrické terče nebude ľahké vyvolať „cieľovú otravu“.Počas procesu nanášania je povrch cieľovej trubice vždy rozprašovaný a leptaný iónmi a nie je ľahké nahromadiť na povrchu hrubé oxidy a iné izolačné filmy a nie je ľahké spôsobiť „cieľovú otravu“.
3) Konštrukcia valcového naprašovacieho terča s rotačným terčom je jednoduchá a ľahko sa inštaluje.
4) Materiál valcovej cieľovej trubice má rôzne typy.rovinný terč s kovovým terčom priame chladenie vodou a niektoré sa nedajú spracovať a tvarovať valcové terče, ako je In2-SnO2 terč atď. s práškovým materiálom na izostatické lisovanie za horúca, aby sa získali terče v tvare platne, pretože veľkosť sa nedá vyrobiť veľké a krehké, preto je potrebné použiť metódu spájkovania a medenú zadnú dosku na integráciu a následnú inštaláciu na cieľovú základňu.Stĺpové terče je možné na povrch nerezových rúrok okrem kovových rúr nastriekať aj rôznymi materiálmi, ktoré je potrebné potiahnuť, ako je Si, Cr a pod.
V súčasnosti sa v priemyselnej výrobe zvyšuje podiel valcových terčov na nátery.Cylindrické terče sa nepoužívajú len pre vertikálny poťahovací stroj, ale používajú sa aj v valcovom poťahovacom stroji.V posledných rokoch sú rovinné dvojité terče postupne nahrádzané valcovými dvojcieľmi.
——Tento článok vydala spoločnosť Guangdong Zhenhua Technology, avýrobca strojov na optické poťahovanie.
Čas odoslania: 11. máj 2023