Technológia chemického nanášania z plynnej fázy (CVD) je technológia tvorby filmu, ktorá využíva zahrievanie, zosilnenie plazmy, fotopomoc a iné prostriedky na to, aby plynné látky vytvárali pevné filmy na povrchu substrátu chemickou reakciou pri normálnom alebo nízkom tlaku.
Všeobecne sa reakcia, pri ktorej je reaktantom plyn a jedným z produktov je pevná látka, nazýva CVD reakcia.Existuje mnoho druhov povlakov pripravených CVD reakciou, najmä v polovodičovom procese.Napríklad v oblasti polovodičov rafinácia surovín, príprava vysokokvalitných polovodičových monokryštálových filmov a rast polykryštalických a amorfných filmov, od elektronických zariadení po integrované obvody, to všetko súvisí s technológiou CVD.Navyše povrchovú úpravu materiálov ľudia obľubujú.Napríklad na prípravu funkčných povlakov s odolnosťou proti korózii, tepelnou odolnosťou, odolnosťou proti opotrebovaniu a spevnením povrchu metódou vytvárania filmu CVD možno použiť rôzne materiály, ako sú stroje, reaktory, letectvo, lekárske a chemické zariadenia, podľa ich rôznych požiadaviek.
—— Tento článok publikuje Guangdong Zhenhua, výrobcavákuové lakovacie zariadenia
Čas odoslania: Mar-04-2023