Ako všetci vieme, definícia polovodiča je taká, že má vodivosť medzi suchými vodičmi a izolantmi, merný odpor medzi kovom a izolantom, ktorý je zvyčajne pri izbovej teplote v rozmedzí 1mΩ-cm ~ 1GΩ-cm. vákuové polovodičové povlaky vo veľkých polovodičových spoločnostiach, je zrejmé, že jeho stav je čoraz vyšší, najmä v niektorých rozsiahlych metódach výskumu integrovaných systémov obvodov technológie výskumu magnetoelektrických konverzných zariadení, zariadení vyžarujúcich svetlo a iných vývojových prác.Vákuové nanášanie polovodičov má dôležitú úlohu.
Polovodiče sú charakteristické svojimi vnútornými charakteristikami, teplotou a koncentráciou nečistôt.Vákuové polovodičové povlakové materiály sa od seba odlišujú najmä svojimi zložkami.Zhruba všetky sú na báze bóru, uhlíka, kremíka, germánia, arzénu, antimónu, telúru, jódu atď. a niektoré relatívne málo GaP, GaAs, lnSb atď.. Existujú aj oxidové polovodiče, ako FeO, Fe₂O₃, MnO, Cr203, Cu2O atď.
Vákuové odparovanie, naprašovanie, iónové nanášanie a ďalšie zariadenia môžu vykonávať vákuové nanášanie polovodičov.Všetky tieto poťahovacie zariadenia sa líšia svojim pracovným princípom, ale všetky vytvárajú poťahový materiál polovodičového materiálu naneseného na substrát a ako materiál substrátu nie je žiadna požiadavka, môže to byť polovodič alebo nie.Okrem toho môžu byť povlaky s rôznymi elektrickými a optickými vlastnosťami pripravené tak difúziou nečistôt, ako aj implantáciou iónov na povrch polovodičového substrátu v určitom rozsahu.Výsledná tenká vrstva môže byť tiež spracovaná ako polovodičový povlak vo všeobecnosti.
Vákuové nanášanie polovodičov je nepostrádateľnou súčasťou elektroniky, či už ide o aktívne alebo pasívne zariadenia.S neustálym pokrokom technológie vákuového nanášania polovodičov je možné presné riadenie výkonu filmu.
V posledných rokoch zaznamenali amorfný povlak a polykryštalický povlak rýchly pokrok vo výrobe fotovodivých zariadení, potiahnutých trubíc s efektom poľa a vysoko účinných solárnych článkov.Navyše kvôli vývoju vákuového polovodičového povlaku a tenkého filmu snímačov, čo tiež podstatne znižuje náročnosť výberu materiálu a postupne zjednodušuje výrobný proces.Vákuové zariadenia na nanášanie polovodičov sa stali nevyhnutnou súčasťou polovodičových aplikácií.Zariadenie sa široko používa na polovodičové poťahovanie kamerových zariadení, solárnych článkov, potiahnutých tranzistorov, emisie poľa, katódového svetla, emisie elektrónov, snímacích prvkov tenkých vrstiev atď.
Linka magnetrónového naprašovania je navrhnutá s plne automatickým riadiacim systémom, pohodlným a intuitívnym dotykovým displejom rozhrania človek-stroj.Linka je navrhnutá s kompletným funkčným menu, aby sa dosiahlo úplné monitorovanie prevádzkového stavu pre celé komponenty výrobnej linky, nastavenie parametrov procesu, ochrana prevádzky a alarmové funkcie.Celý elektrický riadiaci systém je bezpečný, spoľahlivý a stabilný.Vybavené horným a spodným obojstranným magnetrónovým naprašovacím terčom alebo jednostranným náterovým systémom.
Zariadenie sa používa hlavne na keramické dosky plošných spojov, čipové vysokonapäťové kondenzátory a iné substrátové povlaky, hlavnými oblasťami použitia sú dosky elektronických obvodov.
Čas uverejnenia: 7. novembra 2022