Technológia plazmového chemického nanášania pár pomocou horúceho drôtu využíva na vyžarovanie oblúkovej plazmy plazmu s horúcim drôtom, skrátene PECVD technológia horúceho drôtu.Táto technológia je podobná technológii iónového nanášania horúceho drôtového oblúkového pištole, ale rozdiel je v tom, že pevný film získaný iónovým poťahovaním horúcim drôtovým oblúkovým pištoľom využíva oblúkový svetelný tok elektrónov emitovaný horúcim drôtovým oblúkovým pištoľom na zahrievanie a odparovanie kovu v téglika, zatiaľ čo svetlo PECVD z horúceho drôtu je napájané reakčnými plynmi, ako je CH4 a H2, ktoré sa používajú na nanášanie diamantových filmov.Spoliehaním sa na prúd oblúkového výboja s vysokou hustotou emitovaný oblúkovou pištoľou s horúcim drôtom sú ióny reaktívneho plynu excitované, aby sa získali rôzne aktívne častice, vrátane plynových iónov, atómových iónov, aktívnych skupín atď.
V zariadení PECVD s horúcim drôtom sú dve elektromagnetické cievky stále inštalované mimo lakovne, čo spôsobuje rotáciu toku elektrónov s vysokou hustotou počas pohybu smerom k anóde, čím sa zvyšuje pravdepodobnosť kolízie a ionizácie medzi tokom elektrónov a reakčným plynom. .Elektromagnetická cievka sa môže tiež zbiehať do oblúkového stĺpca, aby sa zvýšila hustota plazmy celej nanášacej komory.V oblúkovej plazme je hustota týchto aktívnych častíc vysoká, čo uľahčuje nanášanie diamantových filmov a iných vrstiev filmu na obrobok.
——Tento článok vydala spoločnosť Guangdong Zhenhua Technology, avýrobca strojov na optické poťahovanie.
Čas odoslania: máj-05-2023