1. Tepelná technológia CVD
Tvrdé povlaky sú väčšinou kovokeramické povlaky (TiN a pod.), ktoré vznikajú reakciou kovu v povlaku a reaktívnym splyňovaním.Najprv sa použila tepelná technológia CVD na poskytnutie aktivačnej energie kombinovanej reakcie tepelnou energiou pri vysokej teplote 1000 ℃.Táto teplota je vhodná len na nanášanie TiN a iných tvrdých povlakov na nástroje zo slinutého karbidu.Doteraz je stále dôležitou technológiou nanášanie kompozitných povlakov TiN-Al20 na nástrojové hlavy zo slinutého karbidu.
2. Iónový povlak s dutou katódou a iónový povlak s horúcim drôtom
V osemdesiatych rokoch sa na nanášanie povlakovaných rezných nástrojov používalo poťahovanie iónov dutou katódou a iónové poťahovanie horúcim drôtom.Obidve tieto technológie iónového povlaku sú technológie iónového povlaku s oblúkovým výbojom s mierou ionizácie kovu až 20 % ~ 40 %.
3. Katódový oblúkový iónový povlak
Vznik katódového oblúkového iónového povlaku viedol k vývoju technológie nanášania tvrdých povlakov na formy.Rýchlosť ionizácie katódového oblúkového iónového povlaku je 60%~90%, čo umožňuje veľkému počtu kovových iónov a iónov reakčných plynov dosiahnuť povrch obrobku a stále si udržiavať vysokú aktivitu, čo vedie k reakčnému usadzovaniu a tvorbe tvrdých povlakov, ako napr. TiN.V súčasnosti sa na nanášanie tvrdých povlakov na formy používa najmä technológia poťahovania katódovým oblúkom.
Zdroj katódového oblúka je zdroj odparovania v tuhom skupenstve bez pevnej taveniny a poloha zdroja oblúka môže byť ľubovoľne umiestnená, čím sa zlepšuje miera využitia priestoru lakovne a zvyšuje sa kapacita nakladania pece.Tvary katódových oblúkových zdrojov zahŕňajú malé kruhové katódové oblúkové zdroje, stĺpcové oblúkové zdroje a obdĺžnikové ploché veľké oblúkové zdroje.Rôzne komponenty malých oblúkových zdrojov, stĺpcových oblúkových zdrojov a veľkých oblúkových zdrojov môžu byť usporiadané oddelene na uloženie viacvrstvových filmov a nano viacvrstvových filmov.Medzitým v dôsledku vysokej rýchlosti ionizácie kovov katódového oblúkového iónového povlaku môžu kovové ióny absorbovať viac reakčných plynov, čo vedie k širokému rozsahu procesov a jednoduchej prevádzke na získanie vynikajúcich tvrdých povlakov.V mikroštruktúre poťahovej vrstvy získanej katódovým oblúkovým iónovým poťahovaním sú však hrubé kvapôčky.V posledných rokoch sa objavilo mnoho nových technológií na zdokonalenie štruktúry filmovej vrstvy, čo zlepšilo kvalitu filmu na nanášanie oblúkových iónov.
——Tento článok vydala spoločnosť Guangdong Zhenhua Technology, avýrobca strojov na optické poťahovanie.
Čas odoslania: 28. apríla 2023