Odporový náter zdroja odparovania je základná metóda nanášania povlaku s vákuovým odparovaním.„Odparovanie“ sa vzťahuje na metódu prípravy tenkého filmu, pri ktorej sa náterový materiál vo vákuovej komore zahrieva a odparuje, takže sa atómy alebo molekuly materiálu vyparujú a unikajú z povrchu, pričom vytvárajú fenomén prúdenia pary dopadajúceho na povrch vákuovej komory. substrát alebo substrát a nakoniec sa skondenzuje za vzniku pevného filmu.
Takzvaná metóda nanášania odporového naparovacieho zdroja spočíva v použití tantalu, molybdénu, volfrámu a iných kovov s vysokou teplotou topenia na vytvorenie vhodného tvaru zdroja odparovania, ktorý je zaťažený materiálmi, ktoré sa majú odparovať, nechať vzduch prúdiť, priamo ohrievať a odparené materiály sa odparia alebo sa materiály, ktoré sa majú odpariť, vložia do oxidu hlinitého, oxidu berylnatého a iných téglikov na nepriamy ohrev a odparovanie.Toto je metóda odparovania odporovým ohrevom.
Thevákuový naparovací lakovací strojohrievaný a odparovaný odporovým ohrievačom má výhody jednoduchej konštrukcie, nízkej ceny a spoľahlivého použitia.Môže sa použiť na naparovacie nátery materiálov s nízkou teplotou tavenia, najmä pre hromadnú výrobu s nízkymi požiadavkami na kvalitu náteru.Doposiaľ sa pri výrobe hliníkových zrkadiel používa veľké množstvo procesov nanášania odporového ohrevu a naparovania.
Nevýhody metódy nanášania odporového odparovacieho zdroja odparovania spočívajú v tom, že maximálna teplota, ktorú je možné dosiahnuť ohrevom, je obmedzená a životnosť ohrievača je tiež krátka.V posledných rokoch, aby sa zlepšila životnosť odporového zdroja odparovania, továreň na zariadenia prijala ako zdroj odparovania vodivý keramický materiál syntetizovaný nitridom bóru s dlhou životnosťou.Podľa japonskej patentovej správy môže používať materiály zložené z 20% ~ 30% nitridu bóru a žiaruvzdorné materiály, ktoré sa s ním môžu taviť, aby sa vytvoril zdroj odparovania (téglik), a potiahnuť jeho povrch vrstvou zirkónu obsahujúcou 62% ~ 82% a zvyšok sú materiály zo zliatiny zirkónu a kremíka.
Čas odoslania: 22. apríla 2023