V skutočnosti je technológia nanášania pomocou iónového lúča kompozitnou technológiou.Ide o techniku zloženého povrchového iónového ošetrenia, ktorá kombinuje iónovú implantáciu a technológiu fyzikálneho naparovania a nový typ techniky optimalizácie povrchu iónovým lúčom.Okrem výhod fyzikálneho naparovania môže táto technika kontinuálne zväčšovať akúkoľvek hrúbku filmu za prísnejších kontrolných podmienok, výraznejšie zlepšiť kryštalinitu a orientáciu vrstvy filmu, zvýšiť priľnavosť vrstvy filmu/substrátu, zlepšiť hustotu filmovej vrstvy a syntetizovať zložené filmy s ideálnymi stechiometrickými pomermi pri teplote blízkej izbovej teplote, vrátane nových typov filmov, ktoré sa nedajú získať pri izbovej teplote a tlaku.Depozícia pomocou iónového lúča si nielen zachováva výhody procesu iónovej implantácie, ale môže tiež pokryť substrát úplne iným filmom ako substrát.
Pri všetkých druhoch fyzikálnej depozície z pár a chemickej depozície z pár je možné pridať sadu pomocných bombardovacích iónových pištolí na vytvorenie systému IBAD a existujú dva všeobecné procesy IBAD, ako je znázornené na obrázku:
Ako je znázornené na obrázku (a), na ožarovanie vrstvy filmu iónovým lúčom emitovaným z iónovej pištole sa používa zdroj odparovania elektrónového lúča, čím sa realizuje depozícia pomocou iónového lúča.Výhodou je, že energiu a smer iónového lúča možno nastaviť, ale ako zdroj odparovania možno použiť iba jednu alebo obmedzenú zliatinu alebo zlúčeninu a každý tlak pár zložky zliatiny a zlúčeniny je iný, čo sťažuje aby sa získala vrstva filmu pôvodného zloženia zdroja odparovania.
Obrázok (b) ukazuje nanášanie pomocou naprašovania pomocou iónového lúča, ktoré je tiež známe ako nanášanie naprašovaním s dvojitým iónovým lúčom, v ktorom sa ako zdroj používa terč vyrobený z povlakového materiálu naprašovania iónovým lúčom, produkty naprašovania.Počas nanášania na substrát sa nanášanie pomocou rozprašovania iónovým lúčom dosiahne ožiarením iným zdrojom iónov.Výhodou tejto metódy je, že samotné naprašované častice majú určitú energiu, takže je lepšia priľnavosť k podkladu;ktorýkoľvek komponent terča môže byť potiahnutý naprašovaním, ale môže to byť aj reakčné naprašovanie do filmu, jednoduché nastavenie zloženia filmu, ale jeho účinnosť nanášania je nízka, terč je drahý a existujú problémy, ako je selektívne naprašovanie.
Čas uverejnenia: 8. novembra 2022