Oprema uporablja tehnologijo izhlapevanja z elektronskim žarkom.Elektroni se oddajajo iz katodne nitke in se fokusirajo v določen tok žarka, ki ga pospeši potencial med katodo in lončkom za taljenje in izhlapevanje materiala prevleke.Ima značilnosti visoke energijske gostote in lahko izhlapi premazni material s tališčem nad 3000 ℃.Film ima visoko čistost in visoko toplotno učinkovitost.
Oprema je opremljena z virom izhlapevanja elektronskega žarka, virom ionov, sistemom za spremljanje debeline filma, strukturo za korekcijo debeline filma in stabilnim krovnim sistemom vrtenja obdelovanca.Prek premaza s pomočjo ionskega vira se poveča kompaktnost filma, stabilizira lomni količnik in prepreči pojav premika valovne dolžine zaradi vlage.Popolnoma samodejni sistem za spremljanje debeline filma v realnem času lahko zagotovi ponovljivost in stabilnost postopka.Opremljen je s funkcijo samotaljenja, da zmanjša odvisnost od spretnosti operaterja.
Oprema je uporabna za različne okside in materiale za kovinske prevleke ter se lahko prevleče z večplastnimi natančnimi optičnimi filmi, kot so AR film, dolgovalovni prehod, kratki valovni prehod, posvetlitveni film, AS/AF film, IRCUT, sistem barvnega filma , sistem gradientnega filma itd. Veliko se uporablja v očalih AR, optičnih lečah, kamerah, optičnih lečah, filtrih, industriji polprevodnikov itd.