GX600

Oprema ima navpično strukturo vhodnih vrat in postavitev gruče.Lahko je opremljen z viri izhlapevanja za kovine in različne organske materiale ter lahko izhlapeva silicijeve rezine različnih specifikacij.Opremljen s sistemom za natančno poravnavo, je premaz stabilen in ima dobro ponovljivost.
Oprema za nanašanje premazov GX600 lahko natančno, enakomerno in nadzorovano izhlapi organske materiale, ki oddajajo svetlobo, ali kovinske materiale na podlago.Ima prednosti preprostega oblikovanja filma, visoke čistosti in visoke kompaktnosti.Popolnoma samodejni sistem za spremljanje debeline filma v realnem času lahko zagotovi ponovljivost in stabilnost postopka.Opremljen je s funkcijo samotaljenja, da zmanjša odvisnost od spretnosti operaterja.
Opremo je mogoče uporabiti za Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti in druge kovinske materiale ter je lahko prevlečena s kovinsko folijo, dielektrično plastjo, IMD folijo itd. Uporablja se predvsem v polprevodnikih industrije, kot so napajalne naprave, prevleka substrata zadnje embalaže polprevodnikov itd.