HFCVD0606

Komora za vakuumsko nanašanje opreme za nanašanje s kemično paro ima neodvisno dvoslojno strukturo vodnega hlajenja, ki je učinkovita in enakomerna pri hlajenju ter ima varno in stabilno strukturo.Oprema je zasnovana z dvojnimi vrati, več opazovalnimi okni in več razširitvenimi vmesniki, kar je priročno za zunanjo povezavo pomožnih perifernih naprav, kot so infrardeče merjenje temperature, spektralna analiza, video nadzor in termočlen.Napreden koncept oblikovanja omogoča enostavno in preprosto dnevno remont in vzdrževanje, spreminjanje konfiguracije in nadgradnjo opreme ter učinkovito zmanjša stroške uporabe in nadgradnje.

Lastnosti opreme:

1. Komponente opreme za napihovanje vključujejo predvsem merilnik masnega pretoka, elektromagnetni ventil in posodo za mešanje plina, ki zagotavljajo natančen nadzor pretoka procesnega plina, enakomerno mešanje in varno izolacijo različnih plinov ter lahko izberejo komponente plinskega sistema za uporabo vir tekočega plina, olajšajo osebno izbiro širokega nabora virov tekočega ogljika in varno uporabo sintetičnih prevodnih virov diamanta in elektrodnega tekočega bora.
2. Sklop za ekstrakcijo zraka je opremljen s tiho in učinkovito vakuumsko črpalko z rotacijskimi lopaticami in sistemom turbo molekularne črpalke, ki se lahko hitro spopade z okoljem visokega vakuuma v ozadju.Za merjenje vakuuma se uporablja kompozitni vakuumski merilnik z upornostnim in ionizacijskim merilnikom ter kapacitivni filmski merilni sistem, ki lahko meri tlak različnih procesnih plinov v širokem območju.Tlak nanašanja je popolnoma avtomatsko nadzorovan z visoko natančnim proporcionalnim regulacijskim ventilom.
3. Komponenta hladilne vode je opremljena z večkanalnim vodnim tlakom, pretokom, merjenjem temperature in avtomatskim nadzorom programske opreme.Različne hladilne komponente so neodvisne druga od druge, kar je priročno za hitro diagnosticiranje napak.Vse veje imajo neodvisna ventilska stikala, kar je varno in učinkovito.
4. Električne krmilne komponente uporabljajo velik zaslon LCD vmesnika človek-stroj in sodelujejo s popolnoma samodejnim nadzorom PLC, da olajšajo urejanje in uvoz formule procesa.Grafična krivulja vizualno prikazuje spremembe in vrednosti različnih parametrov, oprema in procesni parametri pa se samodejno beležijo in arhivirajo za lažje sledenje problemom in statistično analizo podatkov.
5. Stojalo za obdelovance je opremljeno s servo motorjem za nadzor dviganja in spuščanja mize za substrat.Izberete lahko grafitno ali rdečo bakreno podlago.Temperaturo merimo s termočlenom.
6. Komponente stojala so lahko zasnovane kot celota ali ločeno v skladu z zahtevami kupcev, da izpolnijo posebne zahteve strank glede ravnanja.
7. Komponente tesnilne plošče so lepe in elegantne.Tesnilne plošče v različnih funkcionalnih modulih opreme je mogoče hitro razstaviti ali odpreti in zapreti neodvisno, kar je zelo priročno za uporabo.

Oprema CVD z vročimi filamenti je primerna za nanašanje diamantnih materialov, vključno s tankoslojnim premazom, samonosnim debelim filmom, mikrokristalnim in nanokristalnim diamantom, prevodnim diamantom itd. Uporablja se predvsem za zaščitno prevleko, odporno na obrabo, rezalnih orodij iz cementnega karbida, polprevodniških materialov kot so silicij in silicijev karbid, prevleka za odvajanje toplote naprav, z borom dopirana prevodna diamantna elektroda, ozonsko dezinfekcijo elektrolitske vode ali čiščenje odplak.