1) Cilindrične tarče imajo višjo stopnjo izkoriščenosti kot ravninske tarče.V procesu nanašanja prevleke, ne glede na to, ali gre za rotacijsko magnetno vrsto ali cilindrično razpršilno tarčo z rotacijsko cevjo, vsi deli površine tarčne cevi nenehno prehajajo skozi območje razprševanja, ki se ustvari pred trajnim magnetom, da sprejme katodno razprševanje, in tarča je lahko enakomerno razpršena in jedkana, ciljna stopnja izkoriščenosti pa je visoka.Stopnja izkoriščenosti ciljnih materialov je približno 80% ~ 90%.
2) Cilindrične tarče ne bodo lahko povzročile "zastrupitve tarče".Med postopkom prevleke je površina ciljne cevi vedno razpršena in jedkana z ioni, na površini pa ni lahko nabrati debelih oksidov in drugih izolacijskih filmov, prav tako pa ni lahko povzročiti "tarčne zastrupitve".
3) Struktura cilindrične tarče za naprševanje z vrtljivo tarčno cevjo je preprosta in enostavna za namestitev.
4) Material cilindrične ciljne cevi je različnih vrst.planarna tarča s kovinsko tarčo neposredno vodno hlajenje, nekaterih pa ni mogoče obdelati in oblikovati cilindričnih tarč, kot je tarča In2-SnO2 itd. s praškastim materialom za vroče izostatično stiskanje, da dobimo ploščate tarče, ker velikosti ni mogoče narediti velik in krhek, zato je treba uporabiti metodo spajkanja in bakreno hrbtno ploščo za integracijo in nato namestitev na ciljno podlago.Poleg kovinskih cevi lahko stebričaste tarče napršimo tudi na površino cevi iz nerjavečega jekla z različnimi materiali, ki jih je treba premazati, kot so Si, Cr itd.
Trenutno se delež cilindričnih tarč za premaze v industrijski proizvodnji povečuje.Cilindrične tarče se ne uporabljajo samo za navpične premazovalne stroje, ampak tudi za premazovalne stroje z zvitka na zvitek.V zadnjih letih planarne dvojne tarče postopoma nadomeščajo cilindrične dvojne tarče.
——Ta članek je izdal Guangdong Zhenhua Technology, aproizvajalec strojev za optične premaze.
Čas objave: 11. maja 2023