Tehnologija kemičnega naparjevanja (CVD) je tehnologija za tvorjenje filma, ki uporablja segrevanje, izboljšanje plazme, foto-podprto in druga sredstva, da plinaste snovi ustvarijo trdne filme na površini substrata s kemično reakcijo pod običajnim ali nizkim tlakom.
Na splošno se reakcija, pri kateri je reaktant plin, eden od produktov pa trdna snov, imenuje CVD reakcija.Obstaja veliko vrst premazov, pripravljenih z reakcijo CVD, zlasti v polprevodniškem procesu.Na področju polprevodnikov so na primer rafiniranje surovin, priprava visokokakovostnih polprevodniških monokristalnih filmov ter rast polikristalnih in amorfnih filmov, od elektronskih naprav do integriranih vezij, povezani s tehnologijo CVD.Poleg tega imajo ljudje prednost pri površinski obdelavi materialov.Na primer, različne materiale, kot so stroji, reaktorji, vesoljska, medicinska in kemična oprema, je mogoče uporabiti za pripravo funkcionalnih premazov z odpornostjo proti koroziji, toplotni odpornosti, odpornosti proti obrabi in površinsko ojačitev z metodo oblikovanja filma CVD v skladu z njihovimi različnimi zahtevami.
—— Ta članek je objavil Guangdong Zhenhua, proizvajalecoprema za vakuumsko nanašanje
Čas objave: mar-04-2023