Tehnologija CVD premazov ima naslednje značilnosti:
1. Procesno delovanje opreme CVD je razmeroma preprosto in prilagodljivo ter lahko pripravi enojne ali kompozitne filme in zlitine z različnimi razmerji;
2. CVD premaz ima široko paleto aplikacij in se lahko uporablja za pripravo različnih kovinskih ali kovinskih filmskih premazov;
3. visoka proizvodna učinkovitost zaradi hitrosti nanašanja od nekaj mikronov do sto mikronov na minuto;
4. V primerjavi z metodo PVD ima CVD boljšo difrakcijsko zmogljivost in je zelo primeren za premazovanje podlag s kompleksnimi oblikami, kot so utori, prevlečene luknje in celo strukture slepih lukenj.Prevleko je mogoče nanesti v film z dobro kompaktnostjo.Zaradi visoke temperature med postopkom oblikovanja filma in močnega oprijema na vmesniku filmskega substrata je sloj filma zelo čvrst
5. Škoda, ki jo povzroča sevanje, je razmeroma majhna in jo je mogoče integrirati s procesi integriranih vezij MOS.
——Ta članek je objavil Guangdong Zhenhua, aproizvajalec strojev za vakuumsko nanašanje
Čas objave: 29. marec 2023