① Dobra nadzorljivost in ponovljivost debeline filma
Ali je mogoče debelino filma nadzorovati pri vnaprej določeni vrednosti, se imenuje možnost nadzora debeline filma.Zahtevano debelino filma je mogoče ponoviti večkrat, kar se imenuje ponovljivost debeline filma. Ker je tok praznjenja in ciljni tok vakuumskega napršenega premaza mogoče nadzorovati ločeno.Zato je debelina napršenega filma mogoče nadzorovati, film z vnaprej določeno debelino pa je mogoče zanesljivo nanesti.Poleg tega lahko z napršenim nanosom na veliki površini dobimo film enakomerne debeline.
② Močan oprijem med filmom in podlago
Energija razpršenih atomov je za 1-2 reda velikosti višja od energije izhlapenih atomov.Pretvorba energije visokoenergijskih razpršenih atomov, odloženih na podlago, je veliko višja od pretvorbe izhlapelih atomov, kar ustvarja višjo toploto in poveča oprijem med razpršenimi atomi in podlago.Poleg tega nekateri visokoenergijski razpršeni atomi povzročijo različne stopnje vbrizgavanja in tvorijo psevdodifuzijsko plast na substratu.Poleg tega je substrat vedno očiščen in aktiviran v območju plazme med postopkom oblikovanja filma, ki odstrani razpršene atome s šibkim oprijemom ter očisti in aktivira površino substrata.Zato ima napršen film močan oprijem na podlago.
③ Lahko se pripravi nov materialni film, ki se razlikuje od cilja
Če med naprševanjem vnesemo reaktivni plin, da reagira s tarčo, lahko dobimo film novega materiala, ki je popolnoma drugačen od tarče.Na primer, silicij se uporablja kot tarča za razprševanje, kisik in argon pa sta skupaj vstavljena v vakuumsko komoro.Po brizganju je mogoče dobiti SiOz izolacijsko folijo.Z uporabo titana kot tarče za razprševanje se dušik in argon skupaj vstavita v vakuumsko komoro in po razprševanju lahko dobite fazni TiN zlatu podoben film.
④ Visoka čistost in dobra kakovost filma
Ker v napravi za pripravo filma za brizganje ni komponente lončka, se komponente materiala grelnika lončka ne bodo mešale v sloj filma za brizganje.Slabosti premaza z brizganjem so, da je hitrost oblikovanja filma počasnejša od hitrosti premaza z izhlapevanjem, temperatura substrata je višja, nanj zlahka vpliva nečistočni plin in struktura naprave je bolj zapletena.
Ta članek je objavil Guangdong Zhenhua, proizvajalecoprema za vakuumsko nanašanje
Čas objave: mar-09-2023