1. Hitrost izhlapevanja bo vplivala na lastnosti evaporiranega premaza
Hitrost izhlapevanja ima velik vpliv na naneseni film.Ker je struktura prevleke, ki jo tvori nizka stopnja nanosa, ohlapna in jo je enostavno nanesti z velikimi delci, je zelo varno izbrati višjo stopnjo izhlapevanja, da zagotovimo kompaktnost strukture prevleke.Ko je tlak preostalega plina v vakuumski komori konstanten, je hitrost obstreljevanja substrata konstantna vrednost.Zato se bo preostali plin, ki ga vsebuje naneseni film po izbiri višje stopnje nanašanja, zmanjšal, s čimer se bo zmanjšala kemična reakcija med molekulami preostalega plina in uparjenimi delci filma.Zato je mogoče izboljšati čistost nanesenega filma.Upoštevati je treba, da lahko, če je hitrost nanašanja prehitra, poveča notranjo napetost filma, poveča število napak v filmu in celo privede do zloma filma.Zlasti v procesu reaktivnega izhlapevanja lahko izberete nižjo stopnjo nanašanja, da bi reakcijski plin v celoti reagiral z delci materiala izparilnega filma.Seveda različni materiali izbirajo različne stopnje izhlapevanja.Kot praktičen primer – nanašanje odbojnega filma. Če je debelina filma 600 × 10-8 cm in je čas izhlapevanja 3 s, je odbojnost 93 %.Če pa je hitrost izhlapevanja upočasnjena pri enaki debelini, traja 10 minut, da se zaključi nanašanje filma.V tem času je debelina filma enaka.Vendar pa je odbojnost padla na 68 %.
2. Temperatura podlage bo vplivala na nanos izhlapevanja
Temperatura podlage ima velik vpliv na evaporacijski premaz.Molekule ostankov plina, adsorbirane na površini substrata pri visoki temperaturi substrata, je enostavno odstraniti.Pomembnejša je predvsem eliminacija molekul vodne pare.Poleg tega pri višjih temperaturah ni le enostavno spodbujati transformacije iz fizične adsorpcije v kemično adsorpcijo, s čimer se poveča vezna sila med delci.Poleg tega lahko tudi zmanjša razliko med temperaturo rekristalizacije parnih molekul in temperaturo substrata, s čimer zmanjša ali odpravi notranjo napetost na vmesniku na osnovi filma.Poleg tega, ker je temperatura podlage povezana s kristalnim stanjem filma, je pogosto enostavno oblikovati amorfne ali mikrokristalne prevleke pod pogojem nizke temperature podlage ali brez segrevanja.Nasprotno, ko je temperatura visoka, je enostavno oblikovati kristalno prevleko.Zvišanje temperature podlage prav tako prispeva k izboljšanju mehanskih lastnosti prevleke.Seveda temperatura podlage ne sme biti previsoka, da preprečimo izparevanje premaza.
3. Tlak preostalega plina v vakuumski komori bo vplival na lastnosti filma
Tlak preostalega plina v vakuumski komori ima velik vpliv na delovanje membrane.Molekule preostalega plina s previsokim tlakom ne le zlahka trčijo ob izhlapevajoče delce, kar bo zmanjšalo kinetično energijo ljudi na substratu in vplivalo na oprijem filma.Poleg tega bo previsok preostali tlak plina resno vplival na čistost filma in zmanjšal učinkovitost prevleke.
4. Učinek temperature izhlapevanja na nanos izhlapevanja
Učinek temperature izhlapevanja na delovanje membrane je prikazan s spremembo hitrosti izhlapevanja s temperaturo.Ko je temperatura izhlapevanja visoka, se toplota uparjanja zmanjša.Če membranski material izhlapi nad temperaturo izhlapevanja, lahko že majhna sprememba temperature povzroči močno spremembo hitrosti izhlapevanja membranskega materiala.Zato je zelo pomembno natančno nadzorovati temperaturo izhlapevanja med nanašanjem filma, da se izognemo velikemu temperaturnemu gradientu, ko se vir izhlapevanja segreje.Za filmski material, ki ga je enostavno sublimirati, je zelo pomembna tudi izbira samega materiala kot grelnika za izparevanje in druge ukrepe.
5. Stanje čiščenja substrata in komore za premaz bo vplivalo na učinkovitost premaza
Ne moremo prezreti vpliva čistoče podlage in komore za nanos na učinkovitost nanosa.To ne bo samo resno vplivalo na čistost nanesenega filma, ampak tudi zmanjšalo oprijem filma.Zato so čiščenje substrata, čiščenje komore za vakuumsko nanašanje in njenih povezanih komponent (kot je okvir substrata) ter površinsko razplinjevanje vsi nepogrešljivi procesi v postopku vakuumskega premazovanja.
Čas objave: 28. februarja 2023