1. Toplotna CVD tehnologija
Trde prevleke so večinoma kovinsko keramične prevleke (TiN itd.), ki nastanejo z reakcijo kovine v prevleki in reaktivnim uplinjanjem.Sprva je bila tehnologija toplotne CVD uporabljena za zagotavljanje aktivacijske energije kombinirane reakcije s toplotno energijo pri visoki temperaturi 1000 ℃.Ta temperatura je primerna samo za nanašanje TiN in drugih trdih prevlek na orodja iz karbidne trdine.Zaenkrat je še vedno pomembna tehnologija nanos kompozitnih prevlek TiN-Al20 na glave orodij iz karbidne trdine.
2. Ionska prevleka z votlo katodo in ionska prevleka z vročo žico
V osemdesetih letih prejšnjega stoletja so za nanašanje prevlečenih rezalnih orodij uporabljali ionsko prevleko z votlo katodo in ionsko prevleko z vročo žico.Obe tehnologiji ionske prevleke sta tehnologiji ionske prevleke z obločno razelektritvijo s stopnjo ionizacije kovine do 20 %~40 %.
3. Ionska prevleka katodnega obloka
Pojav ionske prevleke s katodnim oblokom je privedel do razvoja tehnologije nanašanja trdih prevlek na kalupe.Stopnja ionizacije ionske prevleke s katodnim oblokom je 60 % ~ 90 %, kar omogoča velikemu številu kovinskih ionov in ionov reakcijskega plina, da dosežejo površino obdelovanca in še vedno ohranijo visoko aktivnost, kar ima za posledico reakcijsko odlaganje in nastanek trdih prevlek, kot je npr. Kositer.Trenutno se tehnologija ionskega premazovanja s katodnim oblokom uporablja predvsem za nanašanje trdih premazov na kalupe.
Vir katodnega obloka je vir izhlapevanja v trdnem stanju brez fiksnega staljenega bazena, položaj vira obloka pa je mogoče poljubno postaviti, kar izboljša stopnjo izkoriščenosti prostora v prostoru za nanašanje premazov in poveča zmogljivost obremenitve peči.Oblike virov katodnega obloka vključujejo majhne krožne vire katodnega obloka, stebraste vire oblokov in pravokotne ploščate vire velikega obloka.Različne komponente majhnih obločnih virov, stebrastih obločnih virov in velikih obločnih virov je mogoče razporediti ločeno za odlaganje večplastnih filmov in nano večplastnih filmov.Medtem pa lahko zaradi visoke stopnje ionizacije kovin pri ionski prevleki s katodnim oblokom kovinski ioni absorbirajo več reakcijskih plinov, kar ima za posledico širok razpon postopka in preprosto delovanje za pridobitev odličnih trdih premazov.Vendar pa obstajajo grobe kapljice v mikrostrukturi prevlečne plasti, pridobljene z ionsko prevleko s katodnim oblokom.V zadnjih letih se je pojavilo veliko novih tehnologij za izboljšanje strukture filmske plasti, kar je izboljšalo kakovost obločne ionske prevleke.
——Ta članek je izdal Guangdong Zhenhua Technology, aproizvajalec strojev za optične premaze.
Čas objave: 28. aprila 2023