Postopek neposredne polimerizacije v plazmi

Postopek neposredne polimerizacije v plazmi

Postopek plazemske polimerizacije je razmeroma preprost tako za opremo za polimerizacijo z notranjo elektrodo kot za opremo za polimerizacijo z zunanjo elektrodo, vendar je izbira parametrov pomembnejša pri plazemski polimerizaciji, ker imajo parametri večji vpliv na strukturo in učinkovitost polimernih filmov med plazemsko polimerizacijo.

Koraki za neposredno plazemsko polimerizacijo so naslednji:

(1) Sesanje

Vakuum v ozadju polimerizacije pod vakuumskimi pogoji je treba črpati na 1,3 × 10-1Pa.Za reakcije polimerizacije, ki zahtevajo posebne zahteve za nadzor vsebnosti kisika ali dušika, je zahteva po vakuumu v ozadju še višja.

(2) Monomer reakcije naboja ali mešanica plina nosilnega plina in monomera

Stopnja vakuuma je 13-130 Pa.Za plazemsko polimerizacijo, ki zahteva delo, je treba izbrati ustrezen način nadzora pretoka in hitrost pretoka, običajno 10,100 ml/min.V plazmi se monomerne molekule ionizirajo in disociirajo z bombardiranjem energijskih delcev, kar povzroči aktivne delce, kot so ioni in aktivni geni.Aktivni delci, ki jih aktivira plazma, so lahko podvrženi plazemski polimerizaciji na meji med plinasto in trdno fazo.Monomer je vir prekurzorja za plazemsko polimerizacijo, vhodni reakcijski plin in monomer pa morata imeti določeno čistost.

(3) Izbira napajanja vzbujanja

Plazmo je mogoče ustvariti z uporabo enosmernih, visokofrekvenčnih, RF ali mikrovalovnih virov energije, da se zagotovi plazemsko okolje za polimerizacijo.Izbira napajalnika je določena na podlagi zahtev glede strukture in delovanja polimera.

(4) Izbira načina praznjenja

Za potrebe polimerov lahko plazemska polimerizacija izbere dva načina praznjenja: neprekinjeno praznjenje ali impulzno praznjenje.

(5) Izbira parametrov izpusta

Pri izvajanju plazemske polimerizacije je treba parametre razelektritve upoštevati glede na parametre plazme, lastnosti polimera in strukturne zahteve.Velikost uporabljene moči med polimerizacijo je določena s prostornino vakuumske komore, velikostjo elektrode, pretokom in strukturo monomera, hitrostjo polimerizacije ter strukturo in zmogljivostjo polimera.Na primer, če je prostornina reakcijske komore 1 L in je sprejeta RF plazemska polimerizacija, bo moč praznjenja v območju 10 ~ 30 W.V takih pogojih se lahko ustvarjena plazma združi in tvori tanek film na površini obdelovanca.Hitrost rasti plazemske polimerizacijske folije se spreminja glede na napajanje, vrsto monomera in hitrost pretoka ter procesne pogoje.Na splošno je hitrost rasti 100 nm/min ~ 1 um/min.

(6) Merjenje parametrov pri plazemski polimerizaciji

Parametri plazme in procesni parametri, ki jih je treba izmeriti pri plazemski polimerizaciji, vključujejo: napetost praznjenja, tok praznjenja, frekvenco praznjenja, temperaturo elektronov, gostoto, vrsto in koncentracijo reakcijske skupine itd.

——Ta članek je izdal Guangdong Zhenhua Technology, aproizvajalec strojev za optične premaze.