1. Substrat za čiščenje bombardiranja
1.1) Stroj za nanašanje premazov z brizganjem uporablja žarilno razelektritev za čiščenje podlage.To pomeni, da napolnite plin argon v komoro, napetost praznjenja je okoli 1000 V. Po vklopu napajanja se ustvari žareča razelektritev in podlaga se očisti z bombardiranjem z argonovimi ioni.
1.2) V strojih za nanašanje premazov z brizganjem, ki industrijsko proizvajajo vrhunske okraske, se za čiščenje večinoma uporabljajo titanovi ioni, ki jih oddajajo majhni obločni viri.Stroj za nanašanje premazov z brizganjem je opremljen z virom majhnega obloka, tok titanovih ionov v plazmi obloka, ki nastane zaradi praznjenja vira majhnega obloka, pa se uporablja za bombardiranje in čiščenje podlage.
2. Prevleka iz titanovega nitrida
Pri nanašanju tankih plasti titanovega nitrida je ciljni material za naprševanje titanova tarča.Ciljni material je povezan z negativno elektrodo napajalnika za brizganje, ciljna napetost pa je 400 ~ 500 V;Pretok argona je fiksen, kontrolni vakuum pa je (3~8) x10-1PA.Substrat je priključen na negativno elektrodo prednapetostnega napajalnika z napetostjo 100 ~ 200 V.
Po vklopu napajanja tarče za razprševanje iz titana se ustvari žareča razelektritev in visokoenergijski ioni argona bombardirajo tarčo za razprševanje in iz tarče razpršijo titanove atome.
Reakcijski plin dušik se uvede, titanovi atomi in dušik pa se ionizirajo v titanove ione in dušikove ione v komori za nanos.Pod privlačnostjo negativnega prednapetostnega električnega polja, ki se uporablja za podlago, se titanovi ioni in dušikovi ioni pospešijo na površino podlage za kemično reakcijo in odlaganje, da nastane plast filma titanovega nitrida.
3. Vzemite substrat
Ko dosežete vnaprej določeno debelino filma, izklopite napajanje za razprševanje, napajanje za substrat in vir zraka.Ko je temperatura podlage nižja od 120 ℃, napolnite komoro za nanos z zrakom in vzemite podlago.
Ta članek je objavilproizvajalec strojev za magnetronsko naprševanje– Guangdong Zhenhua.
Čas objave: Apr-07-2023