Postopek prevleke z ionsko votlo katodo je naslednji:
1、Postavite Chin ingote v kolaps.
2、Montaža obdelovanca.
3、Po evakuaciji do 5×10-3Pa se plin argon vnese v komoro za nanos iz srebrne cevi, raven vakuuma pa je okoli 100Pa.
4、Vklopite pristransko napajanje.
5、Po vklopu električnega obloka za vžig praznjenja votle katode. Žareča razelektritev se ustvari v cevi gumba, napetost praznjenja je 800~1000V, tok dviga obloka je 30~50A. Zaradi učinka sijanja votle katode razelektritev, visoka gostota toka žareče razelektritve, visoka gostota podganjih ionov v srebrni cevi bombardira steno prednostne cevi, stena cevi se hitro segreje na emisijo pretoka elektronov, način praznjenja iz žareče razelektritve se nenadno spremeni v obločna razelektritev, napetost je 40 ~ 70 V, tok je 80 ~ 300 A. Temperatura srebrne cevi doseže nad 2300 K, žarnica, oddaja visoko zgoščen tok obločnih elektronov iz cevi in jih usmeri na anodo.
6、Prilagoditev nivoja vakuuma. Raven vakuuma za žarečo razelektritev iz pištole z votlo katodo je približno 100 Pa, stopnja vakuuma prevleke pa je 8×10-1~2Pa. Zato po vžigu obloka zmanjšajte vhodni argon plin čim prej, prilagodite raven vakuuma na območje, primerno za nanašanje premaza.
7、Osnovna plast, prevlečena s titanom. Elektronski tok na anodno zložen kovinski ingot Chin, pretvorba kinetične energije v toplotno energijo, izhlapevanje kovine Chin s segrevanjem, atomi hlapov dosežejo obdelovanec in tvorijo titanov film.
8、Odlaganje TiN. Dušikov plin se dovaja v komoro za nanos, dušikov plin in izhlapeni atomi se ionizirajo v dušikove in titanove ione. Nad lončkom je večja verjetnost neelastičnih trkov atomov titanove pare z gostimi tokovi nizkoenergijskih elektronov, Stopnja disociacije kovin je kar 20% ~ 40%. Verjetneje je, da bodo titanovi ioni kemično reagirali z dušikom v reakcijskem plinu. Odlaganje, da dobimo plast nitridnega plašča. Pištola z votlo katodo je hkrati vir uparjanja, drug vir ionizacije. Med nanašanjem prevleke je treba prilagoditi tudi tok elektromagnetne tuljave okoli lončka. Izostriti žarek elektronov v središče kolapsa. Tako se poveča gostota moči pretoka elektronov.
9、Izklop. Ko debelina filma doseže vnaprej določeno debelino filma, izklopite napajanje obloka、Napajanje pristranskosti in dovod zraka.
Čas objave: 8. julij 2023