Med nanosom z izhlapevanjem sta nukleacija in rast filmske plasti osnova različnih tehnologij ionskega premaza
1. Nukleacija
InTehnologija nanašanja premazov z vakuumsko izparevanjem, potem ko delci filmske plasti izparijo iz vira izhlapevanja v obliki atomov, priletijo neposredno na obdelovanec v visokem vakuumu in tvorijo filmsko plast z nukleacijo in rastjo na površini obdelovanca.Med vakuumskim izhlapevanjem je energija atomov filmske plasti, ki uhajajo iz vira izhlapevanja, približno 0,2 eV.Ko je kohezija med delci filmske plasti večja od vezne sile med atomi filmske plasti in obdelovancem, nastane otočno jedro.Posamezen atom filmske plasti ostane na površini obdelovanca nekaj časa in izvaja neenakomerno gibanje, difuzijo, migracijo ali trk z drugimi atomi, da tvorijo atomske grozde. Število atomov v atomskem grozdu doseže določeno kritično vrednost, stabilno nastane jedro, imenovano jedro homogene oblike.
gladek in vsebuje veliko napak in stopnic, kar povzroča razliko v sili adsorpcije različnih delov obdelovanca na radioaktivne atome.Adsorpcijska energija površine defekta je večja od energije normalne površine, zato ta postane aktivno središče, kar je ugodno za prednostno nukleacijo, imenovano heterogena nukleacija.Ko je kohezijska sila enaka vezni sili ali ko je vezna sila med membranskimi atomi in obdelovancem večja od kohezijske sile med membranskimi atomi, nastane lamelarna struktura.Pri tehnologiji ionske prevleke se v večini primerov oblikuje otočno jedro.
2.Rast
Ko je jedro filma enkrat oblikovano, še naprej raste z lovljenjem vpadnih atomov. Otoki rastejo in se med seboj združujejo v večje poloble, ki postopoma tvorijo polkroglo otoško plast, ki se razprostira po površini obdelovanca.
Ko je atomska energija plasti filma visoka, lahko zadostno razprši po površini in se lahko oblikuje gladek neprekinjen film, ko so kasnejši vhodni atomski grozdi majhni. Če je difuzija atomov na površini šibka in je velikost odloženi grozdi so veliki, obstajajo kot velika polotočna jedra. Vrh otočnega jedra ima močan učinek senčenja na konkavnem delu, to je "učinek sence". Projekcija površine je bolj ugodna za zajemanje poznejših odloženih atomov in prednostna rast, kar ima za posledico naraščajočo stopnjo konkavnosti na površini, da se tvorijo stožčasti ali stebrasti kristali zadostne velikosti.Med stožčastimi kristali nastanejo prodorne praznine in vrednost površinske hrapavosti se poveča. Fino tkivo je mogoče dobiti pri visokem vakuumu, z zmanjševanjem stopnje vakuuma postaja mikrostruktura membrane čedalje debelejša.
Čas objave: 24. maj 2023