Vakuumsko ionsko prevleko (na kratko ionsko prevleko) je nova tehnologija površinske obdelave, ki se je hitro razvila v sedemdesetih letih prejšnjega stoletja in jo je leta 1963 predlagal DM Mattox iz podjetja Somdia v Združenih državah Amerike. Nanaša se na postopek uporabe vira izhlapevanja ali razprševanja. tarča za izhlapevanje ali razprševanje filmskega materiala v vakuumski atmosferi.
Prvi je ustvariti kovinsko paro s segrevanjem in izhlapevanjem filmskega materiala, ki je delno ioniziran v kovinsko paro in visokoenergetsko nevtralne atome v prostoru plazme s praznjenjem plina ter doseže podlago, da tvori film z delovanjem električnega polja. ;slednji uporablja visokoenergijske ione (na primer Ar+) bombardira površino filmskega materiala, tako da se razpršeni delci ionizirajo v ione ali visokoenergijske nevtralne atome skozi prostor plinske razelektritve in realizirajo površino substrata oblikovati film.
Ta članek je objavil Guangdong Zhenhua, proizvajalecoprema za vakuumsko nanašanje
Čas objave: mar-10-2023