Kateri so viri onesnaževanja opreme za vakuumsko nanašanje

Theoprema za vakuumsko nanašanjeje sestavljen iz številnih natančnih delov, ki so izdelani s številnimi postopki, kot so varjenje, brušenje, struženje, skobljanje, vrtanje, rezkanje itd.Zaradi teh del bo površina delov opreme neizogibno onesnažena z nekaterimi onesnaževalci, kot so maščobe, oljna umazanija, kovinski ostružki, varilni prašek, polirna pasta, znojne sledi itd.Ta onesnaževala zlahka izhlapijo v pogojih vakuuma in tako vplivajo na končni vakuum opreme.

Poleg tega ta vakuumska onesnaževala iz mehanske obdelave absorbirajo veliko količino plina v okolju atmosferskega tlaka, v vakuumskem stanju pa se bodo tudi ti predhodno adsorbirani plini ponovno sprostili in postali glavni dejavnik, ki omejuje mejni vakuum.Zaradi tega je treba onesnaževala odstraniti, preden se sestavijo deli stroja za vakuumsko nanašanje.

Med uporabo vakuumske opreme se kontaminirajo tudi njeni sestavni deli.Vendar pa onesnaženje iz tega vira povzročajo predvsem pogoji uporabe in vakuumska črpalka.

1. Izhlapevanje žarilne nitke vakuumskega merilnika pod pogoji visoke temperature bo povzročilo nastanek filma na keramičnem izolatorju, kar bo do določene mere poškodovalo njegovo izolacijsko trdnost in ima tudi določen vpliv na točnost njegovega merjenje;

2. Zaradi visokotemperaturnega izhlapevanja bo na površini v bližini žarilne nitke elektronske pištole v vakuumu nastal kovinski film;

3. Zaradi brizganja obdelovanca bo notranja stena opreme za jedkanje z ionskim žarkom onesnažena z brizgami;

4. Notranja stena opreme za nanašanje vakuumskega izhlapevanja bo onesnažena s ciljnim materialom za izhlapevanje;

5. Pogosto se uporablja sistem vakuumskega sušenja, sistem pa bo onesnažen z izhlapelimi snovmi;

6. Olje difuzijske črpalke in olje mehanske črpalke v opremi za vakuumsko nanašanje sta prav tako glavni vir onesnaževanja.Po daljšem delovanju stroja za premazovanje se lahko v notranjosti opreme ustvari oljni film.

Če povzamemo, vakuumska sanacija opreme vključuje vakuumsko opremo, vakuumski sistem, proizvodnjo vakuumskega postopka in druge vidike in povezave, pa tudi zahteve same opreme za vakuumsko nanašanje in posebnega vakuumskega postopka glede pogojev uporabe.Zato je vakuumsko onesnaženje težava, ki je vredna pozornosti, saj bo to onesnaženje vplivalo na delovanje opreme, zato je treba pozornost nameniti rednemu ali kadar koli čiščenju.