Odporni premaz z virom izhlapevanja je osnovna metoda nanašanja z vakuumskim izhlapevanjem."Izhlapevanje" se nanaša na metodo priprave tankega filma, pri kateri se premazni material v vakuumski komori segreje in upari, tako da atomi ali molekule materiala uparijo in uidejo s površine, pri čemer nastane pojav toka hlapov, ki vpada na površino substrat ali substrat, na koncu pa se kondenzira v trden film.
Tako imenovana metoda premaza z upornim virom izhlapevanja je uporaba tantala, molibdena, volframa in drugih kovin z visokim tališčem za izdelavo ustrezne oblike vira izhlapevanja, ki je napolnjen z materiali, ki jih je treba izhlapeti, prepustiti pretoku zraka, neposredno segrevati in uparite uparjene materiale ali pa jih dajte v aluminijev oksid, berilijev oksid in druge lončke za posredno segrevanje in izhlapevanje.To je metoda izparevanja z uporovnim segrevanjem.
Thestroj za vakuumsko izhlapevanjesegreva in uparja z uporovnim grelnikom, ima prednosti enostavne strukture, nizkih stroškov in zanesljive uporabe.Uporablja se lahko za evaporacijsko nanašanje materialov z nizkim tališčem, zlasti za masovno proizvodnjo z nizkimi zahtevami glede kakovosti premaza.Doslej je v proizvodnji aluminiziranih ogledal še vedno veliko število postopkov nanosa premazov z uporovnim segrevanjem in izhlapevanjem.
Slabosti metode uparjalnega premaza z upornim virom izhlapevanja so, da je najvišja temperatura, ki jo je mogoče doseči s segrevanjem, omejena, kratka pa je tudi življenjska doba grelnika.V zadnjih letih je tovarna opreme za izboljšanje življenjske dobe upornega vira izhlapevanja sprejela prevodni keramični material, sintetiziran z borovim nitridom z dolgo življenjsko dobo kot vir izhlapevanja.Po japonskem patentnem poročilu lahko uporabi materiale, sestavljene iz 20 % ~ 30 % borovega nitrida, in ognjevzdržne materiale, ki jih je mogoče spojiti z njim, da naredi vir izhlapevanja (lonček), in prevleče svojo površino s plastjo cirkonija, ki vsebuje 62 % ~82 %, ostalo pa so materiali iz zlitine cirkonija in silicija.
Čas objave: 22. aprila 2023