RCW600

Ta serija opreme uporablja magnetronske tarče za pretvorbo premaznih materialov v nanometrske delce, ki se nanesejo na površino substratov in tvorijo tanke filme.Zvit film se postavi v vakuumsko komoro.Skozi električno gnano navijalno strukturo en konec sprejme film, drugi pa namesti film.Še naprej prehaja skozi ciljno območje in sprejme ciljne delce, da tvori gost film.
Značilnost:

1. Oblikovanje filma pri nizki temperaturi.Temperatura ima majhen vpliv na film in ne bo povzročila deformacije.Primeren je za folije v zvitkih iz PET, PI in drugih osnovnih materialov.
2. Debelino filma je mogoče oblikovati.Tanke ali debele premaze je mogoče oblikovati in nanesti s prilagajanjem postopka.
3. Oblikovanje več ciljnih lokacij, prilagodljiv postopek.Celoten stroj je mogoče opremiti z osmimi tarčami, ki se lahko uporabljajo kot preproste kovinske tarče ali sestavljene in oksidne tarče.Uporablja se lahko za pripravo enoslojnih filmov z enojno strukturo ali večslojnih filmov s kompozitno strukturo.Postopek je zelo prilagodljiv.

Oprema lahko pripravi elektromagnetno zaščitno folijo, fleksibilno prevleko vezja, različne dielektrične folije, večslojno antirefleksno folijo AR, visoko antirefleksno folijo HR, barvno folijo itd. oprema ima zelo širok spekter uporabe in nanašanje enoslojnega filma se lahko zaključi z enkratnim nanašanjem filma.
Oprema lahko sprejme preproste kovinske tarče, kot so Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl itd., ali sestavljene tarče, kot so SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO itd.

Oprema je majhne velikosti, kompaktne konstrukcije, majhne tlorisne površine, nizke porabe energije in prilagodljivosti pri prilagajanju.Zelo primeren je za procesne raziskave in razvoj ali maloserijsko masovno proizvodnjo.