Tehnologija nanašanja s pomočjo ionskega žarka

Pravzaprav je tehnologija nanašanja s pomočjo ionskega žarka sestavljena tehnologija.To je kompozitna tehnika površinske ionske obdelave, ki združuje ionsko implantacijo in filmsko tehnologijo fizičnega naparjevanja ter novo vrsto tehnike optimizacije površine ionskega žarka.Poleg prednosti fizičnega naparjevanja lahko ta tehnika nenehno goji film katere koli debeline pod strožjimi nadzornimi pogoji, občutneje izboljša kristaliničnost in orientacijo sloja filma, poveča adhezijsko trdnost sloja filma/podlage, izboljša gostoto sloja filma in sintetizirati sestavljene filme z idealnimi stehiometričnimi razmerji pri skoraj sobni temperaturi, vključno z novimi vrstami filmov, ki jih ni mogoče dobiti pri sobni temperaturi in tlaku.Nanašanje s pomočjo ionskega žarka ne le ohrani prednosti postopka ionske implantacije, ampak lahko substrat prekrije s popolnoma drugačnim filmom od substrata.
Pri vseh vrstah fizičnega naparjevanja in kemičnega naparjevanja je mogoče dodati niz pomožnih ionskih pištol za obstreljevanje, da tvorijo sistem IBAD, in obstajata dva splošna postopka IBAD, kot sledi, kot je prikazano na sliki:

Kot je prikazano na sliki (a), se vir izhlapevanja z elektronskim žarkom uporablja za obsevanje plasti filma z ionskim žarkom, ki ga oddaja ionska pištola, s čimer se izvede nanašanje s pomočjo ionskega žarka.Prednost je v tem, da je mogoče prilagoditi energijo in smer ionskega žarka, vendar je kot vir izhlapevanja mogoče uporabiti samo eno ali omejeno zlitino ali spojino, vsak parni tlak komponente zlitine in spojine pa je drugačen, kar otežuje da dobimo filmsko plast prvotne sestave vira izhlapevanja.
Slika (b) prikazuje nanašanje s pomočjo razprševanja z ionskim žarkom, ki je znano tudi kot nanašanje z razprševanjem z dvojnim ionskim žarkom, pri katerem se tarča, izdelana iz prevlečnega materiala za naprševanje z ionskim žarkom, produkti razprševanja uporablja kot vir.Med nanašanjem na substrat se nanašanje s pomočjo razprševanja z ionskim žarkom doseže z obsevanjem z drugim virom ionov.Prednost te metode je, da imajo sami napršeni delci določeno energijo, zato je boljši oprijem s podlago;katera koli komponenta tarče je lahko napršena, lahko pa tudi reakcijsko napršenje v film, enostavno prilagoditi sestavo filma, vendar je njegova učinkovitost nanašanja nizka, tarča je draga in obstajajo težave, kot je selektivno napršenje.