Oprema za kompozitno prevleko magnetronskega razprševanja in katodne ionske prevleke z več loki lahko deluje ločeno in hkrati;lahko nanesemo in pripravimo čisti kovinski film, kovinski sestavljeni film ali kompozitni film;je lahko enoslojna folija in večslojna kompozitna folija.
Njegove prednosti so naslednje:
Ne samo, da združuje prednosti različnih ionskih prevlek in upošteva pripravo in nanašanje tankega filma za različna področja uporabe, temveč omogoča tudi nanašanje in pripravo večslojnih monolitnih filmov ali večslojnih kompozitnih filmov v istem vakuumu. komoro za nanos naenkrat.
Uporaba deponiranih filmskih plasti se pogosto uporablja, njene tehnologije so v različnih oblikah, značilne so naslednje:
(1) Spojina tehnologije neravnovesnega magnetronskega razprševanja in katodne ionske prevleke.
Njegova naprava je prikazana na naslednji način.To je oprema za sestavljeno prevleko stebričaste magnetronske tarče in ravninske ionske prevleke s katodnim oblokom, ki je primerna tako za sestavljeno folijo za prevleko orodja kot za dekorativno prevleko.Za prevleko orodij se najprej uporabi ionska prevleka s katodnim oblokom za prevleko osnovne plasti, nato pa se tarča kolonskega magnetrona uporabi za nanos nitrida in drugih slojev filma, da se pridobi visoko natančen površinski film orodja za obdelavo.
Za dekorativne prevleke se lahko dekorativne folije TiN in ZrN najprej nanesejo s katodnim oblokom in nato dopirajo s kovino z uporabo magnetronskih tarč, učinek dopinga pa je zelo dober.
(2) Kombinacija tehnik nanosa ionske prevleke z dvoravninskim magnetronom in katodnim oblokom.Naprava je prikazana kot sledi.Uporablja napredno tehnologijo dvojnih tarč, ko sta dve dvojni tarči drug ob drugem povezani s srednjefrekvenčnim napajanjem, ne le premaga ciljno zastrupitev zaradi razprševanja z enosmernim tokom, ognja in drugih pomanjkljivosti;in lahko nanese film kakovosti Al203, SiO2 oksida, tako da se odpornost na oksidacijo prevlečenih delov poveča in izboljša.Stebričasta večločna tarča, nameščena v središču vakuumske komore, ciljni material je mogoče uporabiti Ti in Zr, ne le za ohranjanje prednosti visoke stopnje disociacije več lokov, hitrosti nanašanja, ampak lahko tudi učinkovito zmanjša "kapljice" v postopek nanosa tarče z več loki v majhnih ravninah, lahko nanese in pripravi kovinske filme z nizko poroznostjo, sestavljene filme.Če sta Al in Si uporabljena kot ciljna materiala za dvojne planarne magnetronske tarče, nameščene na obrobju, je mogoče nanesti in pripraviti kovinsko-keramične folije Al203 ali Si0.Poleg tega je na obrobju mogoče namestiti več majhnih ravnin vira izparevanja z več loki, njegov ciljni material pa je lahko Cr ali Ni, kovinske folije in večplastne kompozitne folije pa je mogoče odložiti in pripraviti.Zato je ta tehnologija kompozitnega premaza tehnologija kompozitnega premaza z več aplikacijami.
Čas objave: Nov-08-2022