1、Lastnosti brizgalne prevleke
V primerjavi s konvencionalnim premazom z vakuumskim izhlapevanjem ima premaz z brizganjem naslednje lastnosti:
(1) Vsako snov je mogoče razpršiti, zlasti elemente in spojine z visokim tališčem, nizkim parnim tlakom.Dokler je trdna snov, ne glede na to, ali gre za kovino, polprevodnik, izolator, spojino in zmes itd., ne glede na to, ali je blok, se lahko kot ciljni material uporablja zrnat material.Ker pri brizganju izolacijskih materialov in zlitin, kot so oksidi, pride do majhne razgradnje in frakcioniranja, jih je mogoče uporabiti za pripravo tankih filmov in filmov zlitin z enakomernimi komponentami, podobnimi tistim v ciljnem materialu, in celo superprevodnih filmov s kompleksno sestavo.« Poleg tega metodo reaktivnega razprševanja je mogoče uporabiti tudi za izdelavo filmov spojin, ki so povsem drugačne od ciljnega materiala, kot so oksidi, nitridi, karbidi in silicidi.
(2) Dober oprijem med napršeno folijo in podlago.Ker je energija razpršenih atomov 1-2 reda velikosti višja od energije izhlapenih atomov, pretvorba energije visokoenergijskih delcev, odloženih na substrat, ustvari višjo toplotno energijo, ki izboljša oprijem razpršenih atomov na substrat.Del visokoenergijskih razpršenih atomov bo v različnih stopnjah vbrizgan, kar bo tvorilo tako imenovano psevdodifuzijsko plast na substratu, kjer se razpršeni atomi in atomi substratnega materiala "mešajo" med seboj.Poleg tega se med obstreljevanjem razpršenih delcev substrat vedno očisti in aktivira v coni plazme, kar odstrani slabo sprijete izločene atome, očisti in aktivira površino substrata.Posledično se močno izboljša oprijem napršene plasti filma na podlago.
(3) Visoka gostota prevleke z naprševanjem, manj lukenj in večja čistost sloja filma, ker ni kontaminacije lončka, ki je neizogibna pri vakuumskem naparjevanju med postopkom nanašanja z napršenjem.
(4) Dobra nadzorljivost in ponovljivost debeline filma.Ker je tok praznjenja in ciljni tok mogoče nadzorovati ločeno med nanosom z naprševanjem, je mogoče debelino filma nadzorovati s krmiljenjem ciljnega toka, zato sta nadzor nad debelino filma in ponovljivost debeline filma z večkratnim naprševanjem nanosa z napršenjem dobri. , in film vnaprej določene debeline je mogoče učinkovito premazati.Poleg tega lahko z napršenim nanosom dosežemo enakomerno debelino filma na veliki površini.Vendar pa je za splošno tehnologijo nanašanja z naprševanjem (predvsem dipolno naprševanje) oprema zapletena in zahteva visokotlačno napravo;hitrost nastajanja filma pri nanašanju z brizganjem je nizka, hitrost nanašanja z vakuumskim izparevanjem je 0,1 ~ 5 nm/min, medtem ko je hitrost brizganja 0,01 ~ 0,5 nm/min;povišanje temperature podlage je visoko in občutljivo na nečistoče, itd. Vendar pa je bil zaradi razvoja tehnologije RF razprševanja in magnetronskega razprševanja dosežen velik napredek pri doseganju hitrega nanašanja z razprševanjem in znižanja temperature podlage.Poleg tega se v zadnjih letih preiskujejo nove metode nanašanja z naprševanjem – ki temeljijo na ravninskem magnetronskem naprševanju – za zmanjšanje zračnega tlaka naprševanja do ničelnega naprševanja, kjer bo tlak vstopnega plina med naprševanjem enak nič.
Čas objave: Nov-08-2022