Fa'agasologa Fa'agasologa ole Sputtering Coating Machine

1. Mea e fa'amamāina ai pomu

1.1) Sputtering masini faʻapipiʻi faʻaaogaina le susulu e faʻamama ai le meaʻai.O lona uiga, faʻapipiʻi le kasa argon i totonu o le potu, faʻamalo le voltage e tusa ma le 1000V, A maeʻa ona ki luga le eletise, e faʻatupuina le susulu, ma faʻamama le meaʻai e ala i le pomu argon.

1.2) I totonu o masini faʻapipiʻi faʻapipiʻiina o loʻo gaosia ai mea teuteu maualuga, o ion titanium e faʻaosoina e puna arc laiti e masani ona faʻaaogaina mo le faʻamamaina.O loʻo faʻapipiʻiina le masini faʻapipiʻi faʻapipiʻi i se tamaʻi puna arc, ma o le titanium ion stream i totonu o le arc plasma faʻatupuina e le laʻititi o le arc source discharge o loʻo faʻaaogaina e pomu ma faʻamama le substrate.

2. Fa'alavalava nitride Titanium

Pe a teuina titanium nitride ata tifaga manifinifi, o le mea autu mo sputtering o titanium sini.O mea faʻatatau e fesoʻotaʻi atu i le eletise le lelei o le tuʻuina atu o le mana sputtering, ma o le voltage faʻamoemoe e 400 ~ 500V;O le argon flux o loʻo faʻamautu, ma o le vacuum faʻatonutonu e (3 ~ 8) x10^-1PA.O le substrate e fesoʻotaʻi atu i le eletise le lelei o le tuʻuina atu o le eletise, faʻatasi ai ma le voltage o le 100 ~ 200V.

Pe a uma ona ki le sapalai o le eletise o le sputtering titanium target, e maua ai se susulu malamalama, ma le malosi malosi argon ion pomu le sputtering target, sputtering titanium atoms mai le taulaiga.

Le tali kasa nitrogen ua folasia, ma le titanium atoms ma nitrogen ua ionized i titanium ions ma nitrogen ions i totonu o le potu ufiufi.I lalo o le faatosinaga o le faaituau le lelei fanua eletise faaaogaina i le substrate, titanium ions ma nitrogen ions faatelevave i luga o le substrate mo le tali atu vailaau ma deposition e fausia ai se titanium nitride film layer.

3. Aveese le mea'ai

A uma ona o'o i le mafiafia o le ata, tape le sapalai o le paoa, le paoa fa'aituau, ma le puna ea.A maeʻa le vevela o le substrate e maualalo ifo i le 120 ℃, faʻatumu le potu faʻapipiʻi i le ea ma aveese le meaʻai.

O lenei tusiga ua lomia emasini fa'apipi'i fa'ato'a fa'amaneta gaosi masini- Guangdong Zhenhua.