O le fa'agasologa o le fa'apipi'iina o le ion o le cathode e fa'apea:
1、Tu'u auvae ingots ile pa'u.
2. Faʻapipiʻi le mea faigaluega.
3, Ina ua uma ona aveese i le 5 × 10-3Pa, ua faʻafeiloaʻi le kasa argon i totonu o le potu faʻapipiʻi mai le paipa siliva, ma le maualuga o le gaogao e tusa ma le 100Pa.
4、Ki le mana fa'aituau.
5、A uma ona liliu i luga o le mana arc e fa'amumu ai le lafoa'i o le cathode ga'o. Ua fa'atupuina le lafoa'i o le mumu i le fa'amau fa'amau, Voli fa'avevela o le 800 ~ 1000V, O le fa'atupuina o le arc o le taimi nei o le 30 ~ 50A. lafoa'i, maualuga le susulu o le taimi nei density, O le maualuga maualuga o iole ion i totonu o le faagaau siliva pomu le puipui o le faagaau vantage, Fai le puipui o le paipa vave mafanafana i le emission o le tafe electron, le faiga lafoaia mai le glow lafoaia suiga faafuasei i. lafoaia arc, Voltage o 40 ~ 70V, O loʻo i ai nei 80 ~ 300A.Silver vevela vevela oʻo i luga 2300K, Incandescent, Emits se vaitafe density maualuga o arc electrons mai le faagaau, ma fana i le anode.
6, Fetuunaiga o tulaga gaogao.O le tulaga gaogao mo le susulu mai le fana cathode gaogao e tusa ma le 100 Pa, Ma le tikeri gaogao o le ufiufi o le 8 × 10-1 ~ 2Pa.O lea, Ina ua uma le mumu o le arc lafoaia, Faʻaitiitia le argon sau. kesi i le vave e mafai ai, Fetuuna'i le tulaga gaogao i se tulaga talafeagai mo le ufiufi.
7、Titanium plated faavae layer.Electron tafe atu i luga o le anodically pa'ū ingot u'amea Chin,Suiga o le malosi kinetic i le malosi vevela,Evaporation o Chin uamea e faamafanafanaina,Ausa ausa oo atu i le workpiece e fausia ai se ata titanium.
8、Deposition o TiN.Nitrogen kasa ua tuuina atu i le potu ufiufi, kasa Nitrogen ma evaporated atoms ua ionized i nitrogen ma titanium ions.Above le crucible, maualuga le avanoa o collisions inelastic o titanium ausa atoms ma mafiafia vaitafe o electrons maualalo-malosi, O le fua faatatau dissociation uʻamea e maualuga e pei o le 20% ~ 40%., Titanium ions e sili atu ona tali chemically ma le gas nitrogen tali, Deposition e maua ai se nitride mantle film layer.The omo cathode fana e lua uma puna vaporization，O se isi punavai o le ionization.During coating,O le taimi nei o le coil electromagnetic faataamilo i le crucible e tatau foi ona fetuutuunai, Taulai atu le uila eletise i le ogatotonu o le pa'ū, O lea, ua faateleina le malosi density o tafe electron.
9、Power Off.After le mafiafia ata e oʻo atu i le mafiafia ata tifaga na muai fuafuaina,Tape le arc sapalai mana, Bias sapalai mana ma le ea sapalai.
Taimi meli: Iul-08-2023