Le Fa'agasologa o Laititi Arc Source Ion Coating

O le faagasologa o le cathodic arc source ion coating e tutusa lava ma isi tekinolosi faʻapipiʻi, ma o nisi gaioiga e pei o le faʻapipiʻiina o mea faigaluega ma le faʻamama e le toe faia.

1. Bombardment faamamaina o mea faigaluega

Aʻo leʻi faʻapipiʻiina, o loʻo tuʻuina atu le kasa argon i totonu o le potu faʻapipiʻi ma se vacuum o le 2 × 10-2Pa.

Fa'aola le eletise fa'aituau, fa'atasi ai ma le ta'amilosaga tiute o le 20% ma le fa'aituau o mea faigaluega o le 800-1000V.

A faʻaalia le mana o le arc, e faʻatupuina se faʻamalo o le moli malulu, lea e faʻauluina ai le tele o le eletise eletise ma le titanium ion mai le puna arc, e fausia ai se plasma maualuga.O le titanium ion faʻavaveina lona tui i totonu o le mea faigaluega i lalo o le faʻaituau maualuga le lelei o le mamafa o loʻo faʻaaogaina i le mea faigaluega, faʻafefe ma sputtering le kesi totoe ma mea filogia adsorbed i luga o le mea faigaluega, ma le faʻamamaina ma le faʻamamāina o le mea faigaluega;I le taimi lava e tasi, o le kasa chlorine i totonu o le potu ufiufi ua ionized e electrons, ma ions argon faatelevaveina le pomu o luga workpiece.

O le mea lea, e lelei le aafiaga o le faʻamamāina o le pomu.E na'o le 1 minute o le fa'amamāina o pomu e mafai ona fa'amama le mea faigaluega, lea e ta'ua o le "main arc bombardment".Ona o le maualuga o le tele o ion titanium, afai e faʻaaogaina se puna arc laʻititi e pomu ma faʻamama le mea faigaluega mo se taimi umi, o le vevela o le mea faigaluega e faigofie ona vevela, ma e mafai ona vaivai le pito o meafaigaluega.I le gaosiga lautele, o puna arc laiti e liliu ta'itasi mai le pito i luga i lalo, ma o puna arc laiti taitasi ei ai se taimi fa'amamā pomu e tusa ma le 1 minute.

(1) Ufiufi le vaega pito i lalo o le titanium

Ina ia faʻaleleia le faʻapipiʻiina i le va o le ata tifaga ma le substrate, e masani ona faʻapipiʻiina se vaega o le titanium substrate mama aʻo leʻi ufiufi le titanium nitride.Fetuunai le tulaga gaogao i 5 × 10-2-3 × 10-1Pa, fetuutuunai le voluma fa'aituau o mea faigaluega i le 400-500V, ma fetuunai le taamilosaga tiute o le pulus fa'aituau sapalai mana i le 40% ~ 50%.O lo'o fa'amumuina fa'apogai ta'itasi ta'itasi e fa'atupu ai le mālūlū o le fa'aoso o le fanua.Ona o le faʻaitiitia o le eletise le lelei o le mea faigaluega, o le malosi o ion titanium e faʻaitiitia.A maeʻa ona oʻo i le mea faigaluega, o le aʻafiaga o le sputtering e itiiti ifo nai lo le faʻaogaina o mea, ma o le titanium transition layer e fausia i luga o le mea faigaluega e faʻaleleia ai le malosi faʻapipiʻi i le va o le titanium nitride hard film layer ma le substrate.O lenei faagasologa o le faagasologa foi o le faamafanafanaina o le mea faigaluega.Pe a faʻateʻaina le sini titanium mama, o le moli i le plasma e lanumoana lanumoana.

1. Ammoniated ipu faʻapipiʻi ata tifaga malo

Fetuuna'i le vacuum degree i le 3×10^-1-5Pa, fetuutuunai le voluma fa'aituau o mea faigaluega i le 100-200V, ma fetu'una'i le ta'amilosaga tiute o le tu'uina atu o le eletise fa'aituau i le 70% ~ 80%.A maeʻa ona faʻafeiloaʻi le nitrogen, o le titanium o le tuʻufaʻatasiga faʻatasi ma le arc discharge plasma e teu ai titanium nitride ata tifaga malo.I le taimi lea, o le moli o le plasma i totonu o le potu vacuum e lanu mumu.Afai C₂H₂, O₂, ma isi mea ua faʻafeiloaʻi, TiCN, TiO₂, ma isi mea fa'apipi'i ata e mafai ona maua.

-O lenei tusiga na tatalaina e Guangdong Zhenhua, amasini fa'apipi'i gaogao gaosimea