O a ni mea e a'afia ai le fa'aona o le magnetron sputtering?

1, Fausiaina o mea uamea i luga o le faʻatatau
O fea o lo'o fa'atupuina ai le fa'aputuga i le fa'agasologa o le fa'atupuina o se fa'aputuga mai se u'amea fa'atatau i luga e ala i se fa'agasologa fa'afefete?Talu ai ona o le gaioiga fa'a-kemikolo i le va o kesi kasa fa'afoliga ma le fa'atatau i luga o le mea e maua mai ai ni fa'atumauina fa'atumauina, lea e masani ona fa'aola, e tatau ona i ai se auala e fa'aalia ai le vevela, a le o lea e le mafai ona fa'aauau le gaioiga fa'a-kemikolo.I lalo o tulaga gaogao, e le mafai ona faʻafefe le vevela i le va o kasa, o lea e tatau ai ona faia le gaioiga faʻasolosolo i luga o se mea malulu.O le fa'afefeteina o le tali e fa'atupuina ai mea fa'apipi'i i luga o mea fa'atatau, mea fa'apipi'i, ma isi mea fa'avae.O le fa'atupuina o mea fa'apipi'i i luga o le fa'apalapala o le fa'amoemoe lea, o le fa'atupuina o mea fa'apipi'i i luga o isi fausaga fa'avae o se fa'ama'imau o puna'oa, ma o le fa'atupuina o mea fa'apipi'i i luga o le fa'amoemoe e amata o se fa'apogai o atomi fa'afefiloi ma avea ma pa puipui i le fa'aauauina pea o le tu'uina atu o fa'aputuga fa'aopoopo.

2, O a'afiaga o le 'ona fa'atatau
O le mea autu e a'afia ai le fa'a'ona o le fua faatatau o le kesi tali ma le kasa sputtering, o le tele naua o le kasa e o'o atu ai i le fa'a'ona.O lo'o fa'atinoina le fa'agasologa o le sputtering i luga ole la'asaga o lo'o fa'aalia i luga ole alaga ole sputtering e foliga mai o lo'o ufiufi ile fa'aputuga tali po'o le fa'aputuga fa'agaoioiga ua aveese ma toe fa'aalia luga ole uamea.Afai e sili atu le fua o le fa'atupu fa'afefiloi nai lo le fua o le ta'ese'ese, e fa'atupula'ia le vaega fa'apipi'i.I se malosiaga faapitoa, o le aofaʻi o le kasa faʻafefe o loʻo aʻafia i le gaosiga faʻapipiʻi e faʻateleina ma faʻateleina le fua o le gaosiga faʻapipiʻi.Afai e fa'atupula'ia tele le aofa'i o le kasa tali, e fa'atupula'ia le vaega fa'apipi'i.Ma afai e le mafai ona fetuutuunai le fua faatatau o le tafe kasa tali i le taimi, e le o taofia le fua faatatau o le faateleina o le nofoaga o loo aofia ai, ma o le a sili atu ona ufiufi le auala sputtering e le tuufaatasiga, pe a atoa le taulaiga sputtering ua ufitia e le tuufaatasiga, o le sini o le. 'ona atoatoa.

3, Fa'ailoga oona fa'amoemoe
(1) fa'aputuga ion lelei: pe a o'o le sini, o le a faia se vaega o le insulating ata tifaga i luga o le fa'amoemoe, o ion lelei e o'o atu i luga o le cathode fa'atatau ona o le polokaina o le fa'amaufa'ailoga.E le tuusao ulu atu i luga o le sini cathode, ae faaputuputu i luga o le sini autu, faigofie e maua fanua malulu i arc lafoaia - arcing, ina ia le mafai ona alu le sputtering cathode.
(2) leiloa anode: pe a oona sini, eleele potu gaogao puipui foi teuina insulating ata tifaga, e oo atu i le anode electrons e le mafai ona ulu atu i le anode, o le fausia o anode o mea e mou atu.

4, Fa'amatalaga fa'aletino o le 'ona fa'atatau
(1) I se tulaga lautele, e maualuga atu le aofa'i o le fa'aeletonika lona lua o fa'aputuga u'amea nai lo u'amea.A maeʻa le faʻamaʻiina, o le pito i luga o le faʻamoemoe o mea uma uamea, ma a maeʻa ona osofaʻia e ions, o le numera o le eletise lona lua na faʻasaʻolotoina e faʻateleina, lea e faʻaleleia ai le faʻaogaina o le avanoa ma faʻaitiitia ai le faʻaogaina o le plasma, e oʻo atu ai i le maualalo o le voltage sputtering.O le mea lea e fa'aitiitia ai le fua o le sputtering.E masani lava o le sputtering voltage o le magnetron sputtering e i le va o le 400V-600V, ma pe a oʻo mai le faʻamaʻi oona, e matua faʻaitiitia le voltage sputtering.
(2) O le sini uamea ma le taulaiga tuufaatasi e ese le fua faatatau sputtering, i se tulaga lautele o le sputtering coefficient o uamea e maualuga atu nai lo le sputtering coefficient o le tuufaatasiga, o lea e maualalo le fua faatatau sputtering pe a uma le oona sini.
(3) O le lelei o le sputtering o le kasa sputtering reactive e maualalo ifo nai lo le sputtering lelei o le kesi inert, o lea e faaitiitia ai le fua faatatau sputtering atoatoa pe a uma le vaega o le kasa reactive faateleina.

5, Fofo mo le 'ona fa'atatau
(1) Fa'aaoga le paoa eletise feololo po'o le sapalai eletise alaleo.
(2) Fa'aaoga le tapuni tapuni fa'atonuga o le fa'aulu o le kasa.
(3) Fa'ataga fa'amoemoe masaga
(4) Pulea le suiga o le faiga faʻapipiʻi: Aʻo leʻi faʻapipiʻiina, o le faʻaogaina o le hysteresis o le faʻamaʻi oona e aoina ina ia pulea le tafe o le ea i luma o le gaosia o mea oona e faʻamautinoa ai o le faagasologa o loʻo i ai pea i le tulaga aʻo leʻi tuʻuina atu. pa'u to'a le tau.

-O lenei tusiga o loʻo lomia e Guangdong Zhenhua Technology, o se gaosiga o masini faʻapipiʻi masini.