Faʻafeiloaʻi i Guangdong Zhenhua Technology Co., Ltd.
tasi_fa'ailoga

Fa'atomuaga o tekinolosi fa'alavalava fa'asao

Punavai tala:Zhenhua vacuum
Faitau:10
Lolomiina:22-10-28

Fa'avae o le fa'a'a'afu fa'afu'afu

1, Meafaigaluega ma le faagasologa faaletino o le gaogao evaporation coating
O le masini fa'a'ave'esea fa'amama e masani ona aofia ai potu gaogao ma faiga fa'asao.I totonu o le potu gaogao, o loʻo i ai faʻapogai faʻafefe (e pei o le faʻavevela afi), mea faʻapipiʻi ma mea faʻapipiʻi, faʻavevela substrate, faʻavevela, ma isi.
O le mea faʻapipiʻi o loʻo tuʻuina i totonu o le puna evaporation o le potu gaogao, ma i lalo o tulaga gaogao maualuga, e faamafanafanaina e le puna evaporation e evaporate.Afai o le averesi fua fua o le ausa molelaula e sili atu nai lo le laina tele o le potu gaogao, ina ua uma atoms ma molecules o le ausa ata tifaga sosola ese mai luga o le puna evaporation, e seasea faalavelaveina e le fetoaiga o isi molelaula po o atoms, ma o'o sa'o i luga o le mea'ai e ufiufi ai.Ona o le maualalo o le vevela o le substrate, o le ausa o ata tifaga e faʻafefe i luga ma fausia ai se ata.
Ina ia faʻaleleia atili le faʻapipiʻiina o molelaʻau evaporation ma substrate, e mafai ona faʻagaoioia le substrate e ala i le faʻamafanafana lelei poʻo le faʻamamaina o le ion.O le fa'amama fa'afuifu fa'alavalava e alu i faiga fa'aletino nei mai le fa'asaoina o meafaitino, felauaiga i le tu'uina i totonu o se ata tifaga.
(1) Faʻaaogaina auala eseese e faʻaliliu ai isi ituaiga o le malosi i le malosi vevela, o mea ata tifaga e faʻavevela e faʻafefe pe faʻapipiʻi i totonu o mea kasa (atoms, molecules poʻo fuifui atomika) ma se aofaiga o le malosi (0.1 i le 0.3 eV).
(2) O vaega kasa e alu ese mai luga o le ata tifaga ma feaveaʻi i luga o le substrate i se saoasaoa o le gaioiga, e aunoa ma se faʻalavelave, i se laina saʻo.
(3) O mea kasa e o'o atu i luga o le substrate fa'afefiloi ma nucleate, ona tupu a'e lea i totonu o se ata tifaga malo.
(4) Toe fa'atulagaina po'o le fa'apipi'iina o vaila'au o atoma o lo'o fausia ai le ata.

Fa'atomuaga o tekinolosi fa'alavalava fa'asao

2, fa'avevela fa'avevela

(1) Tete'e fa'avevela afi
O le faʻafefeteina o le faʻavevelaina o le faʻavevelaina o le auala sili ona faigofie ma sili ona masani ona faʻaaogaina, e masani ona faʻaogaina i mea faʻapipiʻi ma le faʻafefeteina i lalo ole 1500 ℃, metala maualuga le faʻafefeteina i le uaea poʻo foliga laupepa (W, Mo, Ti, Ta, boron nitride, ma isi) e. e masani ona faia i se foliga talafeagai o puna evaporation, utaina i mea evaporation, e ala i le Joule vevela o le taimi nei eletise e liusuavai, evaporate pe sublimate le mea plating, o le foliga o le puna evaporation e masani ona aofia ai le tele-strand spiral, U-foliga, galu sine. , ipu manifinifi, vaʻa, ato cone, ma isi. I le taimi lava e tasi, o le auala e manaomia ai le mea puna evaporation e maua ai le maualuga o le liusuavai, maualalo le mamafa o le ausa saturation, mautu mea kemikolo, e le o iai ni vailaau faʻamaʻi ma le mea faʻapipiʻi i le vevela maualuga, lelei tetee vevela, suiga laiti i le malosi density, ma isi. Na te faʻaaogaina le maualuga o le taimi nei e ala i le puna faʻasao e faʻavevela ai ma faʻafefe le ata tifaga e ala i le faʻavevela tuusaʻo, poʻo le tuʻuina o le ata tifaga i totonu o le uʻamea e faia i le graphite ma nisi vevela maualuga. u'amea u'amea (e pei o le A202, B0) ma isi mea mo le fa'avevela fa'asa'o e fa'aa'a.
E iai tapula'a le pa'u fa'avevela fa'avevela fa'a'ese'ese: o u'amea fa'ato'a e maualalo le mamafa o le ausa, lea e faigata ona fai ata manifinifi;o nisi elemene e faigofie ona fai se mea faʻapipiʻi ma le uaea faʻamafanafana;e le faigofie ona maua se tu'uga tutusa o le ata fa'ameamea.Ona o le fausaga faigofie, tau maualalo ma le faagaioiina faigofie o le tetee faamafanafana auala evaporation, o se faʻaaogaina masani o le faʻaogaina o auala.

(2) Fa'asao fa'avevela fa'avevela
Electron beam evaporation o se auala e fa'asao ai le mea fa'apipi'i e ala i le tu'iina i se fa'alava eletise eletise maualuga e ala i le tu'uina i totonu o se kopa kopa fa'afefe vai.O le puna evaporation e aofia ai se puna emission eletonika, se puna eletise faatelevaveina malosiaga, se ipu (e masani lava o se kopa kopa), o se maneta coil, ma se seti vai malulu, ma isi. I totonu o lenei masini, o le mea vevela e tuu i totonu o se vai. -cooled crucible, ma le uila eletise pomu na o se vaega itiiti lava o le meafaitino, ae o le tele o mea o totoe o loo tumau pea i se vevela maualalo tele i lalo o le cooling aafiaga o le uʻamea, lea e mafai ona manatu o le vaega pomu o le ipu.O le mea lea, o le auala o le faʻavevelaina o le eletise eletise mo le faʻasao e mafai ona aloese mai le faʻaleagaina i le va o mea faʻapipiʻi ma mea faʻapogai.
E mafai ona vaevaeina le fausaga o le puna eletise alafua evaporation e tolu ituaiga: fana sa'o (Boules fana), mama mama (electrically deflected) ma e-fana (magnetically deflected).E mafai ona tu'u se tasi po'o le sili atu fo'i i totonu o se nofoaga e fa'asao ai, lea e mafai ona fa'amama ma fa'aputu le tele o mea 'ese'ese i le taimi e tasi pe ta'itasi.

Electron beam puna'aga evaporation maua mea lelei nei.
①O le maualuga o le uila o le puna eletise e mafai ona maua ai se malosi sili atu nai lo le faʻavevela faʻavevela, lea e mafai ona faʻafefe ai mea faʻafefe maualuga, e pei o W, Mo, Al2O3, ma isi.
②O mea faʻapipiʻi e tuʻuina i totonu o se kopa kopa faʻafefe vai, lea e mafai ona aloese mai le faʻafefe o le mea e faʻafefe ai mea, ma le tali i le va oi latou.
③E mafai ona faʻapipiʻi saʻo le vevela i luga o le mea faʻapipiʻi, lea e faʻamalosia ai le maualuga o le vevela ma le leiloa o le vevela ma le vevela vevela maualalo.
O le le lelei o le auala e faamafanafana ai le eletise eletise e faapea o le eletise muamua mai le fana eletise ma le eletise lona lua mai luga o le mea faʻapipiʻi o le a ionize le evaporating atoms ma mole kesi totoe, lea o le a aafia ai le lelei o le ata i nisi taimi.

(3) Fa'asao fa'avevela fa'avevela fa'aoso maualuga
O le faʻavevelaina o le faʻavevelaina o le faʻafefe maualuga o le tuʻuina lea o le paʻu ma mea faʻapipiʻi i totonu o le ogatotonu o le uʻamea faʻasolosolo maualuga, ina ia mafai e le mea faʻapipiʻi ona maua ai le malosi o le eddy ma le hysteresis i lalo o le faʻaogaina o le eletise eletise maualuga, lea e mafua ai le fa'amea ata e fa'avevela seia o'o ina fa'asu ma fa'asa.O le puna o le fa'asao e masani lava ona aofia ai se vai-cooled maualuga-alave coil ma se graphite po'o sima (magnesium oxide, alumini oxide, boron oxide, ma isi) ipu.O le faʻaogaina o le eletise maualuga e faʻaaogaina ai le tele o le sefulu afe i le selau afe Hz, o le malosiaga faʻaogaina e tele i le selau kilowatts, o le laʻititi o le voluma o mea membrane, o le maualuga o le faʻaogaina o taimi.E masani lava ona faia i le fa'afefe vai fa'a'a'alili le fa'amalo.
O le le lelei o le faʻaogaina o le faʻavevelaina o le faʻavevelaina o auala e le faigofie ona fetuunai le mana faʻaoga, o loʻo i ai tulaga lelei nei.
①Malaga maualuga le sua
②O le vevela o le puna e faʻafefe e tutusa ma mautu, o lea e le faigofie ai ona faʻaalia le faʻalavelave o le faʻafefe o matāua, ma e mafai foi ona aloese mai le faʻalavelave o pine i luga o le ata tifaga.
③O le puna evaporation e uta tasi, ma o le vevela e fai si faigofie ma faigofie ona pulea.


Taimi meli: Oke-28-2022