O le vaega autu o le vacuum vacuum evaporation method mo le teuina o ata tifaga o le maualuga o le teuina o fua.O le uiga autu o le auala sputtering o le tele o mea o loʻo maua ata tifaga ma le tutusa lelei o le ata tifaga, ae o le faʻaogaina o le fua e maualalo.Ion coating o se metotia e tuʻufaʻatasia ai nei faiga e lua.
Fa'avae fa'apipi'i ion ma tulaga fa'avae ata
O loʻo faʻaalia le faʻaogaina o le faʻaogaina o le ion coating i le Pic.O le potu gaogao e pamuina i se mamafa i lalo ole 10-4 Pa, ona faʻatumuina lea i le kasa inert (eg argon) i le mamafa o le 0.1 ~ 1 Pa. A maeʻa ona faʻaaogaina se eletise DC le lelei e oʻo atu i le 5 kV i le substrate, a. fa'atūina le sone plasma fa'amumu kasa maualalo maualalo i le va o le mea'ai ma le u'amea.O ion gas inert e faʻavaveina e le eletise eletise ma osofaʻia le pito i luga o le substrate, ma faʻamamāina ai luga ole mea faigaluega.A mae'a le fa'amamāina o lenei faiga, e amata le fa'agasologa o le fa'auluina i le fa'asao o mea e fa'apipi'i i totonu o le u'amea.O vaega ausa vasa ulu atu i le sone plasma ma fetoʻai ma le dissociated inert lelei ions ma electrons, ma o nisi o vaega ausa ua dissociated ma pomu le workpiece ma le luga o le ufiufi i lalo o le saoasaoa o le fanua eletise.I le faagasologa o le ion plating, o loʻo i ai e le gata o le tuʻufaʻatasia ae o le sputtering foi o ion lelei i luga o le substrate, o lea e mafai ai ona fausia le ata manifinifi pe a sili atu le aafiaga o le deposition nai lo le aafiaga sputtering.
O le faʻagasologa o le faʻapipiʻiina o le ion, lea e masani ona osofaʻia ai le substrate i ions maualuga-malosi, e mama tele ma e tele mea lelei pe a faʻatusatusa i le sputtering ma le evaporation coating.
(1) Faʻapipiʻi malosi, e le faigofie ona paʻu ese le apa faʻapipiʻi.
(a) I le faʻagasologa o le faʻapipiʻiina o le ion, o le tele o vaega o le malosi e maua mai i le susulu o loʻo faʻaaogaina e maua ai se aʻafiaga o le cathodic sputtering i luga o le pito i luga o le substrate, sputtering ma faʻamamaina le kesi ma le suauʻu faʻapipiʻiina i luga o le fogaeleele. mea'ai e fa'amamā ai le pito i luga o le mea'ai se'ia mae'a le fa'agasologa atoa o le fa'apipi'iina.
(b) I le amataga o le faʻapipiʻiina, faʻapipiʻiina ma le faʻapipiʻiina o loʻo ola faatasi, lea e mafai ona fausia ai se fesuiaiga o vaega o vaega i le atinaʻe o le ata tifaga poʻo se faʻafefiloi o mea ata tifaga ma mea faʻavae, e taʻua o le "pseudo-diffusion layer", lea e mafai ona faʻaleleia lelei le faʻaogaina o le faʻaogaina o le ata.
(2) Mea lelei afifi-faataamilo.O se tasi o mafuaʻaga o le faʻapipiʻiina o mea faʻapipiʻi o loʻo ionized i lalo o le mamafa maualuga ma fetoʻai ma moleke kesi i le tele o taimi i le faagasologa o le oʻo atu i le substrate, ina ia mafai ai ona faʻasalalau mea faʻapipiʻi i luga o le substrate.E le gata i lea, o mea faʻapipiʻi faʻapipiʻi ionized o loʻo teuina i luga o le pito i lalo o le gaioiga o le eletise eletise, o lea e teuina ai le substrate atoa i se ata manifinifi, ae e le mafai e le faʻafefeteina ona ausia lenei aafiaga.
(3) O le maualuga o le faʻapipiʻiina e mafua ona o le faʻafefeina o condensates e mafua mai i le osofaʻia faifaipea o le ata na teuina ma ni ion lelei, lea e faʻaleleia ai le mamafa o le faʻapipiʻiina.
(4) O le tele o filifiliga o mea faʻapipiʻi ma mea faʻapipiʻi e mafai ona faʻapipiʻiina i luga o mea uʻamea pe leai foi.
(5) Faʻatusatusa i le faʻaogaina o ausa vailaʻau (CVD), e maualalo le vevela o le substrate, e masani lava i lalo ole 500 ° C, ae o lona malosi faʻapipiʻi e faʻatusatusa atoatoa i ata tifaga faʻafefe.
(6) Maualuluga le tu'uina atu, vave fa'atupu ata, ma e mafai ona fa'apipi'i mafiafia o ata mai le sefulu nanometers i microns.
O le le lelei o le faʻapipiʻiina o le ion e: o le mafiafia o le ata tifaga e le mafai ona faʻatonutonu saʻo;e maualuga le faʻaogaina o faʻaletonu pe a manaʻomia le ufiufi lelei;ma kasa o le a ulu atu i luga i le taimi o le ufiufi, lea o le a suia ai meatotino i luga.I nisi tulaga, o lua ma nuclei (itiiti ifo i le 1 nm) o loʻo faia foi.
A'o le fua faatatau o le fa'aputuga, e fa'atusaina le fa'alavalava o le ion i le auala e fa'asao.Ae mo le tulaga lelei o ata tifaga, o ata na gaosia e le ion coating e latalata pe sili atu nai lo ata na saunia e le sputtering.
Taimi meli: Nov-08-2022