Fa'atekonolosi fa'amama maneta

A'oa'oga autu o masini faamama maneta
Ole faiga ole fa'amama ole masini fa'amama maneta mo vaega tetele ile la'au plasma e fa'apea:
I le faʻaaogaina o le eseesega i le va o le plasma ma vaega tetele o loʻo faʻatonuina ma le fua-i-mass ratio, o loʻo i ai se "pa puipui" (pe o se paʻu poʻo se puipui faʻapipiʻi faʻapipiʻi) tuʻu i le va o le substrate ma le pito i luga o le cathode, lea e poloka ai soʻo se vaega o loʻo gaoioi i se laina saʻo i le va o le cathode ma le substrate, ao le ions e mafai ona deflected e le mageta fanua ma ui atu i le "pa" i le substrate.

Fa'avae galue ole masini fa'amama maneta

I le maneta, Pe<

Pe ma Pi o le Larmor radii o electrons ma ions i le faasologa, ma o le a o le lautele totonu o le faamama mageta.O le eletise i le plasma o loʻo aʻafia i le malosi o Lorentz ma faʻataʻamilo i luga o le maneta axially, aʻo faʻaitiitia le aʻafiaga o le mageta i le faʻapipiʻiina o ions ona o le eseesega i le va o ions ma electrons i le Larmor radius.Ae peitaʻi, pe a faʻaogaina le eletise i luga o le axis o le masini faamama mageta, o le a tosina mai ai ions i luga o le axial mo le gaioiga faʻasolosolo ona o lona taulaʻi ma le malosi eletise leaga, ma o le saoasaoa eletise e sili atu nai lo le ion, o lea o le eletise. toso i luma le ion i taimi uma, ae tumau pea le plasma quasi-electrical neutral.O vaega tetele o le eletise le faaituau po o sina tau le lelei, ma o le lelei e sili atu le tele nai lo ion ma electrons, e le afaina i le mageta ma le laina laina i luga o le inertia, ma o le a faamamaina pe a uma ona fetaui ma le puipui i totonu o le masini.
I lalo o le galuega tu'ufa'atasi o le piko o le maneta curvature ma gradient drift ma ion-electron collisions, o le plasma e mafai ona deflected i le masini faamama mageta.I le O faʻataʻitaʻiga masani masani o loʻo faʻaaogaina i aso nei o le Morozov flux model ma le Davidson rigid rotor model, lea o loʻo i ai le uiga masani: o loʻo i ai se maneta e faʻaogaina ai le eletise i se faiga faʻamalosi.
O le malosi o le maneta e taʻitaʻia ai le gaioiga axial o le plasma i totonu o le masini filtration masini e tatau ona faʻapea:

O le Mi, Vo, ma le Z o le mamafa o le ion, le saoasaoa o felauaiga, ma le numera o tau o loʻo tauaveina.a o le lautele totonu o le faamama mageta, ma le e o le tau eletise.
E tatau ona maitauina o nisi o ion malosi maualuga e le mafai ona fusia atoatoa e le eletise eletise.E mafai ona latou oʻo atu i le puipui i totonu o le faamama mageta, faia le puipui i totonu i se tulaga lelei, lea e taofia ai ion mai le faʻaauau pea ona oʻo atu i le puipui i totonu ma faʻaitiitia ai le leiloa o le plasma.
E tusa ai ma lenei tulaga, e mafai ona faʻaogaina se faʻaituau faʻaituau talafeagai i le puipui o le masini faamama mageta e faʻalavelave ai le fetoʻai o ion e faʻaleleia ai le lelei o felauaiga ion.

Fa'avasegaina o masini fa'amama maneta
(1) Fausia laina.O le mageta e fai ma taʻiala mo le tafe o le ion beam, faʻaitiitia le tele o le cathode spot ma le vaega o fuifui vaega macroscopic, aʻo faʻamalosia le faʻalavelave i totonu o le plasma, faʻaosofia le liua o vaega le mautonu i ions ma faʻaitiitia le numera o macroscopic. fuifui fasimea, ma fa'aitiitia vave le aofa'i o fasimea lapopo'a a'o fa'atupula'ia le malosi o le maneta.Pe a faʻatusatusa i le faʻaogaina o le tele-arc ion coating method, o lenei masini faʻatulagaina e faʻatoʻilaloina le faʻaititia tele o le lelei e mafua mai i isi metotia ma e mafai ona faʻamautinoa le tumau pea o le faʻaogaina o ata tifaga aʻo faʻaitiitia le numera o vaega tetele e tusa ma le 60%.
(2) Fa'asologa o le Pi'o.E ui lava o le fausaga e eseese ituaiga, ae o le mataupu faavae e tutusa.O le plasma e gaoioi i lalo o le galuega tuʻufaʻatasia o le mageta ma le eletise eletise, ma o le maneta e faʻaaogaina e taofiofia ma pulea ai le plasma e aunoa ma le faʻafefeina o le gaioiga i luga o le itu o laina malosi.Ma o vaega e leʻi faʻaaogaina o le a gaoioi i luga o le laina laina ma vavae ese.O ata na saunia e lenei masini fausaga e maualuga le maaa, maualalo le roughness luga, density lelei, toniga fua saito, ma malosi adhesion faavae ata tifaga.O suʻesuʻega a le XPS o loʻo faʻaalia ai o le maaa o ata ta-C o loʻo ufiufi i lenei ituaiga masini e mafai ona oʻo atu i le 56 GPa, o le mea lea o le masini fausaga faʻapipiʻi o le auala sili lea ona faʻaaogaina ma aoga mo le aveeseina o vaega tetele, ae o le faʻaogaina o felauaiga ion e manaʻomia fa'aleleia atili.O le 90° bend maneta filtration masini o se tasi o le sili ona fa'aogaina masini fausaga fa'aoga.O faʻataʻitaʻiga i luga o faʻataʻitaʻiga o ata tifaga Ta-C o loʻo faʻaalia ai o le 360° bend magnetic filtration masini e le suia tele pe a faʻatusatusa i le 90° bend maneta filtration masini, o lea o le aafiaga o le 90° bend mageta filtration mo vaega tetele e mafai ona faavae. ausia.90 ° punou masini filtration maneta e masani lava e lua ituaiga o fausaga: tasi o se solenoid punou tuu i totonu o le potu gaogao, ma le isi e tuu i fafo o le potu gaogao, ma o le eseesega i le va na o le fausaga.O le mamafa galue o le 90 ° bend mageta filtration masini o loʻo i le faasologa o le 10-2Pa, ma e mafai ona faʻaaogaina i le tele o faʻaoga, e pei o le faʻapipiʻiina o le nitride, oxide, carbon amorphous, ata tifaga semiconductor ma le uʻamea poʻo le ata e le uʻamea. .

Le lelei ole masini fa'amama maneta
Talu ai e le o vaega tetele uma e mafai ona leiloa le malosi o le kinetic i faʻalavelave faʻaauau ma le puipui, o se numera o vaega tetele o le a oʻo atu i le substrate e ala i le paipa.O le mea lea, o se masini filtration mageta umi ma vaapiapi o loʻo i ai le maualuga o le filtration lelei o vaega tetele, ae o le taimi lea o le a faʻateleina ai le leiloa o ion taulaʻi ma i le taimi lava e tasi e faʻateleina ai le lavelave o le fausaga.O le mea lea, o le fa'amautinoaina o le masini fa'amama maneta e sili ona lelei le aveeseina o vaega tetele ma le maualuga o le felauaiga o le ion o se mea e mana'omia muamua mo le tele-arc ion coating technology e maua ai se avanoa lautele fa'aoga i le teuina o ata manifinifi maualuga.O le fa'agaioiga o le masini fa'amama maneta e a'afia i le malosi o le fa'amaneta, fa'aituau pi'o, fa'alava fa'ainisinia, fa'apogai o lo'o i ai nei ma le tulimanu fa'alavelave fa'afuase'i.E ala i le setiina o tapula'a talafeagai o le masini filtration mageta, e mafai ona faaleleia lelei le aafiaga faamama o vaega tetele ma le lelei fesiitaiga o le sini.