Yakakwira simba plasma inogona kubhomba uye kunyudza zvinhu zvepolymer, kutyora macheni avo emamorekuru, kugadzira mapoka anoshanda, kuwedzera simba repamusoro, uye kugadzira etching.Plasma pamusoro kurapwa haikanganisi chimiro chemukati uye kuita kwehuwandu hwezvinhu, asi chete zvakanyanya kushandura nzvimbo dzepamusoro.
Kuti urege kukuvadza hunhu hwechigadzirwa pachayo, plasma pamusoro pekugadzirisa kurapa kazhinji haishandisi plasma ine yakakwirira simba density.Musiyano uripo pakati pekurapwa uku nemamwe marapirwo eplasma ndewe:
1) Usabaya maion kana maatomu munzvimbo yakarapwa (senge ion implantation).
2) Usabvisa zvinhu zvakakura (zvakadai sekuputika kana etching).
3) Usawedzera mashoma mashoma (atomic) zvidimbu zvezvinhu kumusoro (zvakadai sekuisa).
Muchidimbu, kurapwa kwepamusoro kweplasma kunongosanganisira mashoma ekunze emaatomu.
Maitiro ekugadzirisa plasma pamusoro pekugadzirisa kunonyanya kusanganisira gasi kudzvinyirira, magetsi emagetsi emagetsi, simba rekubuda, nguva yekuita, nezvimwewo. Maitiro ekugadzirisa ari nyore kugadzirisa.Munguva yekuchinja kweplasma, akawanda anoshanda masisitimu anowanzo kupindirana neyakagadziriswa nzvimbo yaanosangana nayo, uye anogona kushandiswa kurapa pamusoro pezvinhu.Kuenzaniswa nemaitiro echinyakare, plasma pamusoro pekugadzirisa ine zvakanakira maitiro akareruka, mashandiro ari nyore, mutengo wakaderera, kusasvibisa-kusvibisa, kusarasa, kugadzirwa kwakachengeteka, uye kugona kwakanyanya.
Nguva yekutumira: Jun-07-2023