Tignoolajiyada dahaarka CVD waxay leedahay sifooyinka soo socda:
1. Habka hawlgalka ee qalabka CVD waa mid fudud oo dabacsan, wuxuuna diyaarin karaa hal ama filimaan isku dhafan iyo filimyo alloy ah oo leh qaybo kala duwan;
2. Daboolka CVD wuxuu leeyahay codsiyo badan oo kala duwan, waxaana loo isticmaali karaa in lagu diyaariyo noocyo kala duwan oo bir ah ama fiilooyinka filimada;
3. Wax-soosaarka sare ee waxtarka leh sababtoo ah heerarka dhigaalka ee u dhexeeya dhowr microns ilaa boqolaal microns daqiiqadii;
4. Marka la barbar dhigo habka PVD, CVD waxay leedahay waxqabad diffraction ka wanaagsan oo aad ugu habboon daahan substrates leh qaabab adag, sida grooves, godadka dahaarka ah, iyo xataa dhismayaasha godka indha la'aan ah.Dahaarka waxaa lagu dhejin karaa filim leh isafgarad wanaagsan.Sababtoo ah heerkulka sare inta lagu jiro habka sameynta filimka, iyo adhesion xooggan ee interface substrate filimka, lakabka filimku waa mid aad u adag.
5. Dhaawaca uu keeno shucaaca waa mid aad u hooseeya waxaana lagu dari karaa hababka wareegga isku dhafan ee MOS.
——Maqaalkan waxaa daabacay Guangdong Zhenhua, asoo saaraha mashiinka daahan vacuum
Waqtiga boostada: Mar-29-2023