HFCVD0606

Dhoma e veshjes me vakum të pajisjes së depozitimit të avullit kimik miraton një strukturë të pavarur ftohëse uji me dy shtresa, e cila është efikase dhe uniforme në ftohje dhe ka një strukturë të sigurt dhe të qëndrueshme.Pajisja është projektuar me dyer të dyfishta, dritare të shumta vëzhgimi dhe ndërfaqe të shumta zgjerimi, gjë që është e përshtatshme për lidhjen e jashtme të pajisjeve periferike ndihmëse si matja e temperaturës me rreze infra të kuqe, analiza spektrale, monitorimi video dhe termoçifti.Koncepti i avancuar i dizajnit e bën riparimin ditor dhe mirëmbajtjen, ndryshimin e konfigurimit dhe përmirësimin e pajisjeve të lehta dhe të thjeshta, dhe në mënyrë efektive redukton kostot e përdorimit dhe përmirësimit.

Karakteristikat e pajisjes:

1. Komponentët e inflacionit të pajisjes përfshijnë kryesisht matësin e rrjedhës së masës, valvulën solenoid dhe rezervuarin e përzierjes së gazit, të cilat sigurojnë kontrollin e saktë të rrjedhës së gazit të procesit, përzierjen uniforme dhe izolimin e sigurt të gazrave të ndryshëm, dhe mund të zgjedhin komponentët e sistemit të gazit për përdorimin e burimi i gazit të lëngshëm, lehtëson përzgjedhjen e personalizuar të një game të gjerë burimesh të karbonit të lëngshëm dhe përdorimin e sigurt të burimeve të borit të lëngshëm të diamantit sintetik dhe elektrodës.
2. Asambleja e nxjerrjes së ajrit është e pajisur me një pompë vakumi me fletë rrotulluese të heshtur dhe efikase dhe një sistem pompe molekulare turbo që mund të përmbushë shpejt mjedisin e sfondit me vakum të lartë.Matësi i përbërë i vakumit me matës të rezistencës dhe matës jonizimi përdoret për matjen e vakumit, si dhe sistemi i matësit të filmit kapacitiv i cili mund të masë presionin e gazrave të ndryshëm të procesit në një gamë të gjerë.Presioni i depozitimit kontrollohet plotësisht automatikisht nga valvula e kontrollit proporcional me saktësi të lartë.
3. Komponenti i ujit ftohës është i pajisur me presion të ujit me shumë kanale, rrjedhje, matje të temperaturës dhe monitorim automatik me softuer.Komponentët e ndryshëm ftohës janë të pavarur nga njëri-tjetri, gjë që është e përshtatshme për diagnostikimin e shpejtë të defektit.Të gjitha degët kanë çelësa të pavarur të valvulave, gjë që është e sigurt dhe efikase.
4. Komponentët e kontrollit elektrik miratojnë ekranin LCD të ndërfaqes njeri-makinë me madhësi të madhe dhe bashkëpunojnë me kontrollin e plotë automatik të PLC për të lehtësuar redaktimin dhe importimin e formulës së procesit.Kurba grafike shfaq vizualisht ndryshimet dhe vlerat e parametrave të ndryshëm, dhe pajisjet dhe parametrat e procesit regjistrohen dhe arkivohen automatikisht për të lehtësuar gjurmimin e problemit dhe analizën statistikore të të dhënave.
5. Rafti i pjesës së punës është i pajisur me një motor servo për të kontrolluar ngritjen dhe uljen e tryezës së nënshtresës.Mund të zgjidhet tabela e nënshtresës së grafitit ose bakrit të kuq.Temperatura matet me një termoelement.
6. Komponentët e raftit mund të projektohen si një e tërë ose veçmas sipas kërkesave të klientit për të përmbushur kërkesat e veçanta të trajtimit të klientëve.
7. Komponentët e pllakës vulosëse janë të bukura dhe elegante.Pllakat mbyllëse në zona të ndryshme të moduleve funksionale të pajisjes mund të çmontohen ose hapen dhe mbyllen shpejt në mënyrë të pavarur, gjë që është shumë e përshtatshme për t'u përdorur.

Pajisjet CVD me filament të nxehtë janë të përshtatshme për depozitimin e materialeve diamanti, duke përfshirë veshjen me film të hollë, film të trashë vetë-mbështetës, diamant mikrokristalor dhe nanokristaline, diamant përçues, etj. Përdoret kryesisht për veshjen mbrojtëse rezistente ndaj konsumit të veglave prerëse karabit të çimentuar, materiale gjysmëpërçuese të tilla si silikoni dhe karbidi i silikonit, veshja me shpërndarje të nxehtësisë së pajisjeve, elektroda diamanti përcjellës me bor, dezinfektimi i ozonit i ujit elektrolitik ose trajtimi i ujërave të zeza.