Karakteristikat e zakonshme të teknologjisë së veshjes së joneve të shkarkimit të zgjeruar të shkëlqimit

1. Paragjykimi i pjesës së punës është i ulët

Për shkak të shtimit të një pajisjeje për të rritur shkallën e jonizimit, densiteti i rrymës së shkarkimit rritet dhe voltazhi i paragjykimit zvogëlohet në 0.5 ~ 1 kV.

Përplasja e pasme e shkaktuar nga bombardimet e tepërta të joneve me energji të lartë dhe efekti i dëmtimit në sipërfaqen e pjesës së punës zvogëlohen.

2. Rritja e densitetit të plazmës

Janë shtuar masa të ndryshme për të nxitur jonizimin me përplasje dhe shkalla e jonizimit të metaleve është rritur nga 3% në më shumë se 15%.Dendësia e joneve të mjekrës dhe atomeve neutrale me energji të lartë, joneve të azotit, atomeve aktive me energji të lartë dhe grupeve aktive në dhomën e veshjes është rritur, gjë që është e favorshme për reagimin për të formuar komponime.Teknologjitë e mësipërme të ndryshme të veshjes së joneve të shkarkimit të përmirësuar të shkëlqimit kanë mundur të marrin shtresa të forta filmi TN me anë të depozitimit të reagimit në densitet më të larta të plazmës, por për shkak se ato i përkasin llojit të shkarkimit të shkëlqimit, dendësia e rrymës së shkarkimit nuk është mjaft e lartë (ende niveli mA/cm2 ), dhe densiteti i përgjithshëm i plazmës nuk është mjaft i lartë, dhe procesi i veshjes së përbërjes së depozitimit të reaksionit është i vështirë.

3. Gama e veshjes së burimit të avullimit pika është e vogël

Teknologji të ndryshme të veshjes së joneve të përmirësuara përdorin burime avullimi me rreze elektronike dhe gantu si burim avullimi pikësor, i cili është i kufizuar në një interval të caktuar mbi gantu për depozitimin e reagimit, kështu që produktiviteti është i ulët, procesi është i vështirë dhe është i vështirë të industrializohet.

4. Funksionimi i armëve elektronike me presion të lartë

Tensioni i armës elektronike është 6 ~ 30 kV dhe tensioni i paragjykimit të pjesës së punës është 0,5 ~ 3 kV, i cili i përket funksionimit të tensionit të lartë dhe ka disa rreziqe sigurie.

——Ky artikull u publikua nga Guangdong Zhenhua Technology, aprodhues i makinerive të veshjes optike.