Procesi i polimerizimit të drejtpërdrejtë të plazmës

Procesi i polimerizimit të drejtpërdrejtë të plazmës

Procesi i polimerizimit të plazmës është relativisht i thjeshtë si për pajisjet e polimerizimit të elektrodës së brendshme ashtu edhe për pajisjet e polimerizimit të elektrodës së jashtme, por zgjedhja e parametrave është më e rëndësishme në polimerizimin e plazmës, sepse parametrat kanë një ndikim më të madh në strukturën dhe performancën e filmave polimer gjatë polimerizimit plazmatik.

Hapat e funksionimit për polimerizimin e drejtpërdrejtë të plazmës janë si më poshtë:

(1) Fshesë me korrent

Vakuumi i sfondit të polimerizimit në kushte vakum duhet të pompohet në 1.3×10-1Pa.Për reaksionet e polimerizimit që kërkojnë kërkesa të veçanta për kontrollin e përmbajtjes së oksigjenit ose azotit, kërkesa për vakum në sfond është edhe më e lartë.

(2) Monomeri i reagimit të ngarkesës ose gazi i përzier i gazit bartës dhe monomerit

Shkalla e vakumit është 13-130Pa.Për polimerizimin e plazmës që kërkon punë, do të zgjidhet mënyra e duhur e kontrollit të rrjedhës dhe shpejtësia e rrjedhës, përgjithësisht 10,100 mL/min.Në plazmë, molekulat e monomerit jonizohen dhe shpërndahen nga bombardimi i grimcave energjike, duke rezultuar në grimca aktive si jonet dhe gjenet aktive.Grimcat aktive të aktivizuara nga plazma mund t'i nënshtrohen polimerizimit të plazmës në ndërfaqen e fazës së gazit dhe fazës së ngurtë.Monomeri është burimi i pararendësit për polimerizimin e plazmës, dhe gazi dhe monomeri i reaksionit hyrës duhet të kenë pastërti të caktuar.

(3) Zgjedhja e furnizimit me energji ngacmuese

Plazma mund të gjenerohet duke përdorur burime të energjisë DC, me frekuencë të lartë, RF ose mikrovalë për të siguruar një mjedis plazmatik për polimerizim.Zgjedhja e furnizimit me energji përcaktohet bazuar në kërkesat për strukturën dhe performancën e polimerit.

(4) Zgjedhja e mënyrës së shkarkimit

Për kërkesat e polimerit, polimerizimi i plazmës mund të zgjedhë dy mënyra shkarkimi: shkarkim të vazhdueshëm ose shkarkim pulsi.

(5) Përzgjedhja e parametrave të shkarkimit

Gjatë kryerjes së polimerizimit të plazmës, parametrat e shkarkimit duhet të merren parasysh nga parametrat e plazmës, vetitë e polimerit dhe kërkesat e strukturës.Madhësia e fuqisë së aplikuar gjatë polimerizimit përcaktohet nga vëllimi i dhomës së vakumit, madhësia e elektrodës, shpejtësia dhe struktura e rrjedhës së monomerit, shpejtësia e polimerizimit dhe struktura dhe performanca e polimerit.Për shembull, nëse vëllimi i dhomës së reagimit është 1L dhe polimerizimi i plazmës RF është miratuar, fuqia e shkarkimit do të jetë në intervalin 10~30W.Në kushte të tilla, plazma e krijuar mund të grumbullohet për të formuar një shtresë të hollë në sipërfaqen e pjesës së punës.Shpejtësia e rritjes së filmit të polimerizimit të plazmës ndryshon me furnizimin me energji, llojin e monomerit dhe shpejtësinë e rrjedhjes dhe kushtet e procesit.Në përgjithësi, shkalla e rritjes është 100nm/min~1um/min.

(6) Matja e parametrave në polimerizimin e plazmës

Parametrat e plazmës dhe parametrat e procesit që do të maten në polimerizimin e plazmës përfshijnë: tensionin e shkarkimit, rrymën e shkarkimit, frekuencën e shkarkimit, temperaturën e elektronit, densitetin, llojin dhe përqendrimin e grupit të reaksionit, etj.

——Ky artikull u publikua nga Guangdong Zhenhua Technology, aprodhues i makinerive të veshjes optike.