Rrjedha e procesit të makinës së veshjes me spërkatje

1. Nënshtresa për pastrimin e bombardimeve

1.1) Makina e veshjes me spërkatje përdor shkarkimin e shkëlqimit për të pastruar nënshtresën.Kjo do të thotë, ngarkoni gazin e argonit në dhomë, voltazhi i shkarkimit është rreth 1000 V, pas ndezjes së furnizimit me energji elektrike, gjenerohet një shkarkesë shkëlqimi dhe nënshtresa pastrohet nga bombardimi i joneve të argonit.

1.2) Në makinat e veshjes me spërkatje që prodhojnë në mënyrë industriale zbukurime të nivelit të lartë, jonet e titanit të emetuara nga burimet e vogla të harkut përdoren kryesisht për pastrim.Makina e veshjes me spërkatje është e pajisur me një burim të vogël harku dhe rryma e joneve të titanit në plazmën e harkut të krijuar nga shkarkimi i burimit të harkut të vogël përdoret për të bombarduar dhe pastruar nënshtresën.

2. Veshje me nitrid titan

Kur depozitohen filma të hollë të nitridit të titanit, materiali i synuar për spërkatje është objektivi i titanit.Materiali i synuar është i lidhur me elektrodën negative të furnizimit me energji spërkatës, dhe tensioni i synuar është 400~500V;Fluksi i argonit është i fiksuar dhe vakuumi i kontrollit është (3~8) x10^-1PA.Nënshtresa lidhet me elektrodën negative të furnizimit me paragjykim, me një tension prej 100~200V.

Pas ndezjes së furnizimit me energji të objektivit të titanit që spërkat, krijohet një shkarkesë shkëlqimi dhe jonet e argonit me energji të lartë bombardojnë objektivin spërkatës, duke spërkatur atomet e titanit nga objektivi.

Azoti i gazit të reaksionit futet dhe atomet e titanit dhe azoti jonizohen në jone titani dhe jone të azotit në dhomën e veshjes.Nën tërheqjen e fushës elektrike negative të paragjykimit të aplikuar në nënshtresë, jonet e titanit dhe jonet e azotit përshpejtohen në sipërfaqen e substratit për reaksion kimik dhe depozitim për të formuar një shtresë filmi nitridi titani.

3. Nxirreni nënshtresën

Pasi të keni arritur trashësinë e paracaktuar të filmit, fikni furnizimin me energji spërkatëse, furnizimin me energji të paragjykimit të substratit dhe burimin e ajrit.Pasi temperatura e nënshtresës të jetë më e ulët se 120 ℃, mbushni dhomën e veshjes me ajër dhe hiqni nënshtresën.

Ky artikull është publikuar ngaprodhuesi i makinës së veshjes me spërkatje magnetron– Guangdong Zhenhua.