Procesi i veshjes së joneve të zbrazëta të katodës

Procesi i veshjes së joneve të uritur të katodës është si më poshtë:

1, Vendosni shufrat e mjekrës në kolaps.

2, Montimi i pjesës së punës.

3, Pas evakuimit në 5×10-3Pa, gazi argon futet në dhomën e veshjes nga tubi i argjendit dhe niveli i vakumit është rreth 100Pa.

4, Ndizni fuqinë e paragjykimit.

5, Pas ndezjes së fuqisë së harkut për të ndezur shkarkimin e katodës së zbrazët. Shkarkimi i shkëlqimit gjenerohet në tubin e butonit, Tensioni i shkarkimit është 800 ~ 1000 V, rryma e rritjes së harkut është 30 ~ 50 A. Për shkak të efektit të zbrazët të katodës së shkëlqimit shkarkimi,Densiteti i rrymës së shkarkimit me shkëlqim të lartë,Densiteti i lartë i joneve të miut në tubin e argjendit bombardon murin e tubit të favorshëm,Bëni që muri i tubit të ngrohet me shpejtësi deri në emetimin e rrjedhës së elektroneve, mënyra e shkarkimit nga shkarkimi i shkëlqimit ndryshim i papritur në shkarkimi i harkut, Tensioni është 40 ~ 70 V, rryma është 80 ~ 300 A. Temperatura e tubit të argjendtë arrin mbi 2300 K, inkandeshente, lëshon një rrymë me densitet të lartë të elektroneve të harkut nga tubi, dhe qëllohet në anodë.

6, Rregullimi i nivelit të vakumit. Niveli i vakumit për shkarkimin e shkëlqimit nga arma e zgavrës katodë është rreth 100 Pa, dhe shkalla e vakumit të veshjes është 8 × 10-1 ~ 2 Pa. Prandaj, pas ndezjes së shkarkimit të harkut, zvogëloni argonin në hyrje gaz sa më shpejt të jetë e mundur, Rregulloni nivelin e vakumit në një gamë të përshtatshme për veshje.

7, Shtresa bazë e veshur me titan. Rrjedha e elektroneve në shufrën metalike të mjekrës të shembur në mënyrë anodike, Shndërrimi i energjisë kinetike në energji termike, avullimi i metalit të mjekrës me ngrohje, atomet e avullit arrijnë në pjesën e punës për të formuar një film titani.

8, Depozitimi i TiN. Gazi i azotit furnizohet në dhomën e veshjes, gazi i azotit dhe atomet e avulluara jonizohen në jone azoti dhe titan. Shkalla e disociimit të metaleve është deri në 20% ~ 40%., Jonet e titanit kanë më shumë gjasa të reagojnë kimikisht me azotin e gazit të reaksionit, depozitimi për të marrë një shtresë filmi të mantelit nitrid. Arma e katodës së zbrazët është edhe një burim avullimi, një burim tjetër të jonizimit.Gjatë veshjes,Duhet të rregullohet edhe rryma e bobinës elektromagnetike rreth enës,Përqendroni rrezen elektronike në qendrën e kolapsit,Kështu rritet densiteti i fuqisë së rrjedhës së elektroneve.

9, Fikja e energjisë. Pasi trashësia e filmit të arrijë trashësinë e paracaktuar të filmit, fikni furnizimin me energji elektrike me hark, Furnizimin me energji elektrike dhe furnizimin me ajër.