Procesi i veshjes së joneve me burim të vogël harku

Procesi i veshjes së joneve me burim harku katodik është në thelb i njëjtë me teknologjitë e tjera të veshjes dhe disa operacione të tilla si instalimi i pjesëve të punës dhe pastrimi me fshesë me korrent nuk përsëriten më.

1.Pastrimi me bombardim i pjesëve të punës

Para veshjes, gazi argon futet në dhomën e veshjes me një vakum prej 2×10-2Pa.

Aktivizoni furnizimin me energji të paragjykimit të pulsit, me një cikël pune prej 20% dhe një paragjykim të pjesës së punës prej 800-1000 V.

Kur ndizet energjia e harkut, gjenerohet një shkarkesë e dritës së harkut të fushës së ftohtë, e cila lëshon një sasi të madhe rryme elektronike dhe rrymë jonesh titanium nga burimi i harkut, duke formuar një plazmë me densitet të lartë.Joni i titanit përshpejton injektimin e tij në pjesën e punës nën presionin negativ të animit të lartë të aplikuar në pjesën e punës, duke bombarduar dhe spërkatur gazin e mbetur dhe ndotësit e thithur në sipërfaqen e pjesës së punës dhe duke pastruar dhe pastruar sipërfaqen e pjesës së punës;Në të njëjtën kohë, gazi i klorit në dhomën e veshjes jonizohet nga elektronet, dhe jonet e argonit përshpejtojnë bombardimin e sipërfaqes së pjesës së punës.

Prandaj, efekti i pastrimit të bombardimeve është i mirë.Vetëm rreth 1 minutë pastrim me bombardim mund të pastrojë pjesën e punës, e cila quhet "bombardim me hark kryesor".Për shkak të masës së lartë të joneve të titanit, nëse përdoret një burim i vogël harku për të bombarduar dhe pastruar pjesën e punës për një kohë të gjatë, temperatura e pjesës së punës është e prirur për mbinxehje dhe skaji i mjetit mund të bëhet i butë.Në prodhimin e përgjithshëm, burimet e vogla të harkut ndizen një nga një nga lart poshtë dhe çdo burim i vogël hark ka një kohë pastrimi të bombardimit prej rreth 1 minutë.

(1) Veshje e shtresës së poshtme të titanit

Për të përmirësuar ngjitjen midis filmit dhe nënshtresës, zakonisht lyhet një shtresë e substratit të pastër të titanit përpara se të lyhet nitridi i titanit.Rregulloni nivelin e vakumit në 5×10-2-3×10-1Pa, rregulloni tensionin e paragjykimit të pjesës së punës në 400-500 V dhe rregulloni ciklin e punës të furnizimit me energji të paragjykimit të pulsit në 40%~50%.Ende ndezen burimet e vogla të harkut një nga një për të gjeneruar shkarkesë të harkut të fushës së ftohtë.Për shkak të uljes së tensionit negativ të paragjykimit të pjesës së punës, energjia e joneve të titanit zvogëlohet.Pas arritjes së pjesës së punës, efekti i spërkatjes është më i vogël se efekti i depozitimit dhe në pjesën e punës formohet një shtresë tranzicioni titani për të përmirësuar forcën e lidhjes midis shtresës së fortë të filmit të nitridit të titanit dhe nënshtresës.Ky proces është gjithashtu procesi i ngrohjes së pjesës së punës.Kur objektivi i pastër i titanit shkarkohet, drita në plazmë është blu e kaltër.

1.Veshje filmi e forte e tasit me amoniak

Rregulloni shkallën e vakumit në 3×10^-1-5Pa, rregulloni tensionin e paragjykimit të pjesës së punës në 100-200 V dhe rregulloni ciklin e punës të furnizimit me energji të paragjykimit të pulsit në 70%~80%.Pas futjes së azotit, titani është një reagim i kombinuar me plazmën e shkarkimit të harkut për të depozituar një film të fortë të nitridit të titanit.Në këtë pikë, drita e plazmës në dhomën e vakumit është e kuqe vishnje.Nëse C₂H₂, O₂, etj janë futur, TiCN, TiO₂, etj mund të merren shtresa filmike.

– Ky artikull u publikua nga Guangdong Zhenhua, aprodhuesi i makinës së veshjes me vakum