Cilët janë faktorët që ndikojnë në helmimin e objektivit në spërkatjen me magnetron?

1, Formimi i komponimeve metalike në sipërfaqen e synuar
Ku është përbërja e formuar në procesin e formimit të një përbërjeje nga një sipërfaqe metalike e synuar nga një proces spërkatje reaktive?Meqenëse reaksioni kimik midis grimcave reaktive të gazit dhe atomeve të sipërfaqes së synuar prodhon atome të përbëra, të cilat zakonisht janë ekzotermike, nxehtësia e reaksionit duhet të ketë një mënyrë për të kryer, përndryshe reaksioni kimik nuk mund të vazhdojë.Në kushte vakum, transferimi i nxehtësisë midis gazeve nuk është i mundur, kështu që reaksioni kimik duhet të zhvillohet në një sipërfaqe të fortë.Gërmimi i reaksionit gjeneron komponime në sipërfaqet e synuara, sipërfaqet e nënshtresës dhe sipërfaqet e tjera strukturore.Gjenerimi i komponimeve në sipërfaqen e nënshtresës është qëllimi, gjenerimi i komponimeve në sipërfaqe të tjera strukturore është humbje burimesh dhe gjenerimi i komponimeve në sipërfaqen e synuar fillon si një burim i atomeve të përbërjes dhe bëhet një pengesë për sigurimin e vazhdueshëm të më shumë atomeve të përbëra.

2, Faktorët e ndikimit të helmimit të synuar
Faktori kryesor që ndikon në helmimin e synuar është raporti i gazit të reaksionit dhe gazit spërkatës, shumë gaz i reagimit do të çojë në helmimin e objektivit.Procesi i spërkatjes reaktive kryhet në sipërfaqen e synuar të kanalit të spërkatjes, zona e kanalit duket të jetë e mbuluar nga përbërësi i reaksionit ose përbërësi i reaksionit hiqet dhe riekspozohet sipërfaqja metalike.Nëse shkalla e gjenerimit të përbërjes është më e madhe se shkalla e zhveshjes së përbërjes, zona e mbulimit të kompleksit rritet.Në një fuqi të caktuar, sasia e gazit të reaksionit të përfshirë në gjenerimin e përbërjes rritet dhe shkalla e gjenerimit të përbërjes rritet.Nëse sasia e gazit të reaksionit rritet shumë, zona e mbulimit të përbërjes rritet.Dhe nëse shpejtësia e rrjedhës së gazit të reaksionit nuk mund të rregullohet në kohë, shkalla e rritjes së zonës së mbulimit të përbërjes nuk shtypet dhe kanali i spërkatjes do të mbulohet më tej nga përbërësi, kur objektivi i spërkatjes mbulohet plotësisht nga përbërësi, objektivi është i helmuar plotësisht.

3, Fenomeni i helmimit të synuar
(1) akumulimi pozitiv i joneve: kur helmimi i synuar, një shtresë e filmit izolues do të formohet në sipërfaqen e synuar, jonet pozitive arrijnë në sipërfaqen e synuar të katodës për shkak të bllokimit të shtresës izoluese.Nuk futet drejtpërdrejt në sipërfaqen e synuar të katodës, por grumbullohet në sipërfaqen e synuar, është e lehtë për t'u prodhuar nga fusha e ftohtë në shkarkimin e harkut - harku, kështu që spërkatja e katodës nuk mund të vazhdojë.
(2) zhdukja anode: kur helmimi i synuar, muri i bazuar në dhomën e vakumit depozitohet gjithashtu film izolues, duke arritur elektronet anode nuk mund të hyjnë në anodë, formimi i fenomenit të zhdukjes së anodës.

4, Shpjegimi fizik i helmimit të synuar
(1) Në përgjithësi, koeficienti i emetimit sekondar të elektroneve të përbërjeve metalike është më i lartë se ai i metaleve.Pas helmimit të objektivit, sipërfaqja e objektivit është e gjitha komponimet metalike dhe pasi bombardohet nga jonet, rritet numri i elektroneve dytësore të lëshuara, gjë që përmirëson përçueshmërinë e hapësirës dhe zvogëlon rezistencën e plazmës, duke çuar në një tension më të ulët të spërkatjes.Kjo zvogëlon shkallën e spërkatjes.Në përgjithësi, tensioni i spërkatjes së spërkatjes së magnetronit është midis 400V-600V, dhe kur ndodh helmimi i objektivit, voltazhi i spërkatjes zvogëlohet ndjeshëm.
(2) Objektivi metalik dhe objektivi i përbërë fillimisht është i ndryshëm, në përgjithësi koeficienti i spërkatjes së metalit është më i lartë se koeficienti i spërkatjes së përbërjes, kështu që shkalla e spërkatjes është e ulët pas helmimit të objektivit.
(3) Efikasiteti i spërkatjes së gazit spërkatës reaktiv është fillimisht më i ulët se efikasiteti i spërkatjes së gazit inert, kështu që shkalla gjithëpërfshirëse e spërkatjes zvogëlohet pasi rritet përqindja e gazit reaktiv.

5, Zgjidhje për helmimin e synuar
(1) Miratoni furnizimin me energji me frekuencë të mesme ose furnizimin me energji me frekuencë radio.
(2) Miratoni kontrollin me lak të mbyllur të hyrjes së gazit të reaksionit.
(3) Mirato objektiva binjake
(4) Kontrolloni ndryshimin e mënyrës së veshjes: Përpara veshjes, kurba e efektit histerezë të helmimit të synuar mblidhet në mënyrë që fluksi i ajrit hyrës të kontrollohet në pjesën e përparme të prodhimit të helmimit të objektivit për të siguruar që procesi të jetë gjithmonë në modalitetin përpara depozitimit. norma bie ndjeshëm.

– Ky artikull është botuar nga Guangdong Zhenhua Technology, një prodhues i pajisjeve të veshjes me vakum.