Veshje jonikemakinë filloi nga teoria e propozuar nga DM Mattox në vitet 1960, dhe eksperimentet përkatëse filluan në atë kohë;Deri në vitin 1971, Chambers dhe të tjerët publikuan teknologjinë e veshjes së joneve me rreze elektronike;Teknologjia e pllakës së avullimit reaktiv (ARE) u vu në dukje në raportin e Bunshah në 1972, kur u prodhuan lloje filmash super të fortë si TiC dhe TiN;Gjithashtu në vitin 1972, Smith dhe Molley miratuan teknologjinë e katodës së zbrazët në procesin e veshjes.Deri në vitet 1980, shtrimi i joneve në Kinë më në fund kishte arritur nivelin e aplikimit industrial dhe proceset e veshjes si pllakëza me shumë hark me vakum dhe platimi me jon me shkarkim hark ishin shfaqur në mënyrë të njëpasnjëshme.
I gjithë procesi i punës së veshjes së joneve me vakum është si më poshtë: së pari,pompëdhoma e vakumit dhe më pasprisnipresioni i vakumit në 4X10-3 Paose më mirë, është e nevojshme të lidhni furnizimin me energji të tensionit të lartë dhe të ndërtoni një zonë plazme me temperaturë të ulët të gazit të shkarkimit të tensionit të ulët midis substratit dhe avulluesit.Lidheni elektrodën e nënshtresës me tension të lartë negativ 5000V DC për të formuar një shkarkesë shkëlqimi të katodës.Jonet e gazit inert krijohen pranë zonës së shkëlqimit negativ.Ata hyjnë në zonën e errët të katodës dhe përshpejtohen nga fusha elektrike dhe bombardojnë sipërfaqen e nënshtresës.Ky është një proces pastrimi, dhe më pas hyni në procesin e veshjes.Nëpërmjet efektit të ngrohjes me bombardim, disa materiale plasimi avullohen.Zona e plazmës hyn në protone, përplaset me elektronet dhe jonet e gazit inert, dhe një pjesë e vogël e tyre jonizohen. Këto jone të jonizuar me energji të lartë do të bombardojnë sipërfaqen e filmit dhe do të përmirësojnë cilësinë e filmit deri diku.
Parimi i vendosjes së joneve me vakum është: në dhomën e vakumit, duke përdorur fenomenin e shkarkimit të gazit ose pjesën e jonizuar të materialit të avulluar, nën bombardimin e joneve të materialit të avulluar ose joneve të gazit, depozitohen në të njëjtën kohë këto substanca të avulluara ose reaktantët e tyre në substrat. për të marrë një shtresë të hollë.Veshje jonikemakinëkombinon avullimin me vakum, teknologjinë e plazmës dhe shkarkimin e shkëlqimit të gazit, i cili jo vetëm që përmirëson cilësinë e filmit, por gjithashtu zgjeron gamën e aplikimit të filmit.Përparësitë e këtij procesi janë difraksioni i fortë, ngjitja e mirë e filmit dhe materialet e ndryshme të veshjes.Parimi i plating joneve u propozua për herë të parë nga DM Mattox.Ka shumë lloje jonizuese.Lloji më i zakonshëm është ngrohja me avullim, duke përfshirë ngrohjen me rezistencë, ngrohjen me rreze elektronike, ngrohjen me rreze elektronike plazma, ngrohje me induksion me frekuencë të lartë dhe metoda të tjera të ngrohjes.
Koha e postimit: Shkurt-14-2023