Pajisjet e veshjes së përbërë të spërkatjes së magnetronit dhe veshjes katodike të joneve me shumë hark mund të punojnë veçmas dhe njëkohësisht;mund të depozitohet dhe përgatitet film metalik i pastër, film i përbërë metalik ose film i përbërë;mund të jetë një shtresë e vetme filmi dhe një film i përbërë me shumë shtresa.
Përparësitë e tij janë si më poshtë:
Ai jo vetëm që kombinon avantazhet e veshjeve të ndryshme jonike dhe merr parasysh përgatitjen dhe depozitimin e filmit të hollë për fusha të ndryshme aplikimi, por gjithashtu lejon depozitimin dhe përgatitjen e filmave monolitikë me shumë shtresa ose filmave të përbërë me shumë shtresa në të njëjtin vakum. dhoma e veshjes në të njëjtën kohë.
Aplikimet e shtresave të filmit të depozituar janë përdorur gjerësisht teknologjitë e tij janë në forma të ndryshme, ato tipike si më poshtë:
(1) Komponimi i teknologjisë së spërkatjes së magnetronit jo-ekuilibër dhe joneve katodike.
Pajisja e tij tregohet si më poshtë.Është një pajisje për veshjen e përbërë nga objektivi magnetron kolonë dhe veshja planare e joneve katodike të harkut, e cila është e përshtatshme si për shtresën e përbërë të veshjes së veglave, ashtu edhe për veshjen e filmit dekorativ.Për veshjen e veglave, veshja e joneve të harkut katodik përdoret fillimisht për veshjen e shtresës bazë, dhe më pas objektivi i magnetronit të kolonës përdoret për depozitimin e nitridit dhe shtresave të tjera të filmit për të marrë një film sipërfaqësor të mjetit përpunues me precizion të lartë.
Për veshjen dekorative, filmat dekorativë TiN dhe ZrN mund të depozitohen fillimisht me veshje me hark katodik, dhe më pas të dopohen me metal duke përdorur objektiva magnetron, dhe efekti i dopingut është shumë i mirë.
(2) Përbërja e teknikave të veshjes së joneve të harkut të katodës së kolonës dhe magnetronit të dyfishtë.Pajisja tregohet si më poshtë.Përdoret teknologjia e avancuar e synimeve binjake, kur dy objektiva binjakë krah për krah të lidhur me furnizimin me energji elektrike me frekuencë të mesme, jo vetëm që kapërcen helmimin e synuar të spërkatjes DC, zjarrit dhe të meta të tjera;dhe mund të depozitojë film cilësor Al203, oksid SiO2, në mënyrë që rezistenca e oksidimit të pjesëve të veshura të jetë rritur dhe përmirësuar.Objektivi kolonar me shumë hark i instaluar në qendër të dhomës së vakumit, materiali i synuar mund të përdoret Ti dhe Zr, jo vetëm për të ruajtur avantazhet e shkallës së lartë të ndarjes me shumë hark, shkallës së depozitimit, por gjithashtu mund të zvogëlojë në mënyrë efektive "pikat" në Procesi i depozitimit me shumë hark në aeroplan të vogël, mund të depozitojë dhe të përgatisë një porozitet të ulët të filmave metalikë, filmave të përbërë.Nëse Al dhe Si përdoren si materiale të synuara për objektivat magnetron planar binjak të instaluar në periferi, filmat metal-qeramikë Al203 ose Si0 mund të depozitohen dhe përgatiten.Për më tepër, në periferi mund të instalohen shumë plane të vogla të burimit të avullimit me shumë hark, dhe materiali i tij i synuar mund të jetë Cr ose Ni, dhe filmat metalikë dhe filmat e përbërë me shumë shtresa mund të depozitohen dhe përgatiten.Prandaj, kjo teknologji e veshjes së përbërë është një teknologji e veshjes së përbërë me aplikime të shumta.
Koha e postimit: Nëntor-08-2022