Pajisjet e pastrimit të plazmës me vakum adoptojnë strukturën e integruar, të pajisur me sistemin e pastrimit të joneve RF, kontrollin plotësisht automatik, funksionimin dhe mirëmbajtjen e përshtatshme.
Gjeneratori me frekuencë të lartë RF mund të gjenerojë plazmë me densitet të lartë, të aktivizojë, gërmojë dhe shkulë sipërfaqen e pjesës së punës, të heqë në mënyrë efektive pluhurin dhe yndyrën në sipërfaqen e produktit, të çlirojë stresin e sipërfaqes dhe të marrë modifikime të ndryshme në sipërfaqen e pjesës së punës.
Është i zbatueshëm për gomë, qelq, qeramikë, metal dhe produkte të tjera, dhe aplikohet në mikroelektronikë, LCD, LED, LCM, bordin e qarkut PCB, paketimin gjysmëpërçues, pajisjet mjekësore, eksperimentet e shkencës së jetës dhe fusha të tjera.