Опрема усваја технологију испаравања електронског зрака.Електрони се емитују из катодног филамента и фокусирају у одређену струју снопа, која се убрзава потенцијалом између катоде и лончића да се растопи и испари материјал за облагање.Има карактеристике високе густине енергије и може да испари материјал за облагање са тачком топљења већом од 3000 ℃.Филм има високу чистоћу и високу термичку ефикасност.
Опрема је опремљена извором испаравања електронског снопа, извором јона, системом за праћење дебљине филма, структуром корекције дебљине филма и стабилним системом ротације обрадака кишобрана.Преко премаза уз помоћ јона, повећава се компактност филма, стабилизује индекс преламања и избегава се појава померања таласне дужине услед влаге.Потпуно аутоматски систем за праћење дебљине филма у реалном времену може осигурати поновљивост и стабилност процеса.Опремљен је функцијом самотопљења како би се смањила зависност од вештина оператера.
Опрема је применљива на различите оксиде и материјале за премазивање метала и може се обложити вишеслојним прецизним оптичким филмовима, као што су АР филм, дуготаласни пролаз, краткоталасни пролаз, филм за осветљавање, АС / АФ филм, ИРЦУТ, систем филма у боји , систем градијентног филма, итд. Широко се користи у АР наочарима, оптичким сочивима, камерама, оптичким сочивима, филтерима, полупроводничкој индустрији итд.