ХФЦВД0606

Комора за вакуумско облагање опреме за таложење хемијске паре усваја независну двослојну структуру воденог хлађења, која је ефикасна и уједначена у хлађењу, и има сигурну и стабилну структуру.Опрема је дизајнирана са двоструким вратима, вишеструким прозорима за посматрање и вишеструким интерфејсима за проширење, што је погодно за екстерно повезивање помоћних периферних уређаја као што су инфрацрвено мерење температуре, спектрална анализа, видео надзор и термопар.Напредни концепт дизајна чини свакодневни ремонт и одржавање, промену конфигурације и надоградњу опреме лаким и једноставним, и ефикасно смањује трошкове коришћења и надоградње.

Карактеристике опреме:

1. Компоненте за надувавање опреме углавном укључују мерач масеног протока, соленоидни вентил и резервоар за мешање гаса, који обезбеђују тачну контролу протока процесног гаса, униформно мешање и безбедну изолацију различитих гасова, и могу одабрати компоненте гасног система за употребу извор течног гаса, олакшава персонализован избор широког спектра извора течног угљеника и безбедну употребу синтетичких проводљивих извора дијаманата и електрода течног бора.
2. Склоп за екстракцију ваздуха је опремљен тихом и ефикасном вакуум пумпом са ротационим лопатицама и системом турбо молекуларне пумпе који може брзо да испуни окружење високог вакуума.За мерење вакуума користи се композитни вакуум мерач са мерачем отпора и јонизационим мерачем, као и капацитивни филмски мерач који може да мери притисак различитих процесних гасова у широком опсегу.Притисак таложења је потпуно аутоматски контролисан високо прецизним пропорционалним контролним вентилом.
3. Компонента расхладне воде је опремљена са вишеканалним притиском воде, протоком, мерењем температуре и софтверским аутоматским праћењем.Различите компоненте за хлађење су независне једна од друге, што је погодно за брзу дијагнозу квара.Све гране имају независне прекидаче вентила, што је безбедно и ефикасно.
4. Електричне контролне компоненте усвајају ЛЦД екран са интерфејсом човек-машина велике величине и сарађују са потпуно аутоматском контролом ПЛЦ-а како би се олакшало уређивање и увоз формуле процеса.Графичка крива визуелно приказује промене и вредности различитих параметара, а параметри опреме и процеса се аутоматски снимају и архивирају како би се олакшало праћење проблема и статистичка анализа података.
5. Сталак за радни комад је опремљен серво мотором за контролу подизања и спуштања стола за подлогу.Може се изабрати табела са подлогом од графита или црвеног бакра.Температура се мери термоелементом.
6. Компоненте регала могу бити дизајниране као целина или одвојено према захтевима купаца како би се испунили посебни захтеви за руковање купаца.
7. Компоненте заптивне плоче су лепе и елегантне.Заптивне плоче у различитим деловима функционалних модула опреме могу се брзо раставити или отворити и затворити независно, што је веома згодно за употребу.

ЦВД опрема са врућим филаментом је погодна за наношење дијамантских материјала, укључујући танкослојни премаз, самоносиви дебели филм, микрокристални и нанокристални дијамант, проводни дијамант, итд. Углавном се користи за заштитни премаз отпоран на хабање алата за резање цементног карбида, полупроводничких материјала као што су силицијум и силицијум карбид, превлака уређаја за расипање топлоте, проводна дијамантска електрода допирана бором, дезинфекција озоном електролитичке воде или третман канализације.