① Добра контрола и поновљивост дебљине филма
Да ли се дебљина филма може контролисати на унапред одређеној вредности назива се контролисање дебљине филма.Потребна дебљина филма може се поновити много пута, што се назива поновљивост дебљине филма. Зато што се струја пражњења и циљна струја вакуумског распршивача могу контролисати одвојено.Због тога се дебљина распршеног филма може контролисати, а филм са унапред одређеном дебљином може се поуздано депоновати.Поред тога, премаз за прскање може да добије филм уједначене дебљине на великој површини.
② Јака адхезија између филма и подлоге
Енергија распршених атома је 1-2 реда величине већа од енергије испарених атома.Конверзија енергије високоенергетских распршених атома депонованих на подлогу је много већа од оне код испарених атома, што генерише већу топлоту и повећава адхезију између распршених атома и супстрата.Поред тога, неки високоенергетски распршени атоми производе различите степене убризгавања, формирајући псеудодифузиони слој на подлози.Поред тога, супстрат се увек чисти и активира у региону плазме током процеса формирања филма, чиме се уклањају атоми распршивања са слабом адхезијом и пречишћава и активира површину супстрата.Стога, распршени филм има јаку адхезију за подлогу.
③ Може се припремити нови филм материјала који се разликује од циља
Ако се реактивни гас уведе током распршивања да би он реаговао са метом, може се добити нови материјални филм потпуно другачији од циља.На пример, силицијум се користи као мета за распршивање, а кисеоник и аргон се заједно стављају у вакуумску комору.Након прскања може се добити СиОз изолациони филм.Коришћењем титанијума као мете за распршивање, азот и аргон се заједно стављају у вакуумску комору, а фазни ТиН златни филм се може добити након распршивања.
④ Висока чистоћа и добар квалитет филма
Пошто у уређају за припрему филма за распршивање не постоји компонента лончића, компоненте материјала за загревање лончића неће се мешати у слоју филма за распршивање.Недостаци премаза за распршивање су у томе што је брзина формирања филма спорија од брзине премаза испаравањем, температура подлоге је виша, лако је на њега утицати гас нечистоћа, а структура уређаја је сложенија.
Овај чланак је објавио Гуангдонг Зхенхуа, произвођачопрема за вакуумско облагање
Време поста: 09.03.2023