Процес директне полимеризације у плазми

Процес директне полимеризације у плазми

Процес плазма полимеризације је релативно једноставан и за опрему за полимеризацију унутрашњих електрода и за опрему за полимеризацију екстерних електрода, али је одабир параметара важнији у плазма полимеризацији, јер параметри имају већи утицај на структуру и перформансе полимерних филмова током плазма полимеризације.

Кораци операције за директну полимеризацију плазме су следећи:

(1) Усисавање

Позадински вакуум полимеризације у условима вакуума треба пумпати на 1,3×10-1Па.За реакције полимеризације које захтевају посебне захтеве за контролу садржаја кисеоника или азота, захтев за позадинским вакуумом је још већи.

(2) Реакционо пуњење мономера или мешавина гаса носача и мономера

Степен вакуума је 13-130Па.За плазма полимеризацију која захтева рад, биће изабран одговарајући режим контроле протока и брзина протока, обично 10.100 мЛ/мин.У плазми, молекули мономера се јонизују и дисоцирају бомбардовањем енергетских честица, што резултира активним честицама као што су јони и активни гени.Активне честице активиране плазмом могу се подвргнути плазма полимеризацији на граници гасне фазе и чврсте фазе.Мономер је извор прекурсора за плазма полимеризацију, а улазни реакциони гас и мономер морају имати одређену чистоћу.

(3) Избор извора напајања побуде

Плазма се може генерисати коришћењем ДЦ, високофреквентних, РФ или микроталасних извора напајања да би се обезбедило окружење плазме за полимеризацију.Избор напајања се одређује на основу захтева за структуром и перформансама полимера.

(4) Избор режима пражњења

За потребе полимера, Плазма полимеризација може изабрати два начина пражњења: континуирано пражњење или пулсно пражњење.

(5) Избор параметара пражњења

Приликом спровођења полимеризације у плазми, потребно је узети у обзир параметре пражњења на основу параметара плазме, својстава полимера и захтева структуре.Величина примењене снаге током полимеризације одређена је запремином вакуумске коморе, величином електроде, брзином и структуром мономера, брзином полимеризације и структуром и перформансама полимера.На пример, ако је запремина реакционе коморе 1Л и усвојена је РФ плазма полимеризација, снага пражњења ће бити у опсегу од 10~30В.У таквим условима, створена плазма може да се агрегира и формира танак филм на површини радног предмета.Брзина раста филма плазма полимеризације варира у зависности од напајања, типа мономера и брзине протока и услова процеса.Генерално, брзина раста је 100нм/мин~1ум/мин.

(6) Мерење параметара у плазма полимеризацији

Параметри плазме и параметри процеса који се мере у плазма полимеризацији укључују: напон пражњења, струју пражњења, фреквенцију пражњења, температуру електрона, густину, тип и концентрацију реакционе групе итд.

——Овај чланак је објавио Гуангдонг Зхенхуа Тецхнологи, апроизвођач машина за оптичко премазивање.